[實用新型]一種碳化硅晶體打磨裝置有效
| 申請號： | 202020721200.7 | 申請日： | 2020-05-06 |
| 公開（公告）號： | CN211966998U | 公開（公告）日： | 2020-11-20 |
| 發明（設計）人： | 么靚;劉亞坤;張平;鄒宇 | 申請（專利權）人： | 江蘇天科合達半導體有限公司;北京天科合達半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B19/22 | 分類號： | B24B19/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B47/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張博 |
| 地址： | 221000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 晶體 打磨 裝置 | ||
1.一種碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，包括底座、支撐桿、水平桿、固定桿、打磨輪和夾持裝置，其中，
所述打磨輪轉動的設置在所述底座上，
所述支撐桿固定在所述底座上，所述水平桿移動的設置在所述支撐桿上，所述固定桿設置在所述水平桿上，所述夾持裝置設置在所述固定桿上，
所述夾持裝置上夾持住的碳化硅晶體朝向所述打磨輪，所述水平桿在所述支撐桿上移動時帶動所述碳化硅晶體朝向或遠離所述打磨輪移動。
2.根據權利要求1所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述底座上開設有凹槽，所述打磨輪設置在所述凹槽中。
3.根據權利要求1所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述打磨輪通過旋轉軸與所述底座連接。
4.根據權利要求1所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述夾持裝置包括安裝桿、彈性伸縮桿和夾板，其中，
所述安裝桿的一端與所述固定桿連接，其另一端與所述彈性伸縮桿的中部連接，所述彈性伸縮桿的兩端各設置有所述夾板，
所述彈性伸縮桿給予夾持力通過所述夾板夾持所述碳化硅晶體。
5.根據權利要求4所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述彈性伸縮桿包括依次連接的第一桿體、第一彈性裝置、第二桿體、第二彈性裝置和第三桿體，
所述安裝桿的另一端與所述第二桿體連接。
6.根據權利要求5所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述第一彈性裝置和所述第二彈性裝置的結構相同，
所述第一彈性裝置包括彈簧和套設在所述彈簧上的套管，所述套管的兩端分別沿所述第一桿體和所述第二桿體滑移。
7.根據權利要求4所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述彈性伸縮桿為多個且繞同一圓心呈夾角設置。
8.根據權利要求4所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述安裝桿與所述固定桿插接后通過位于側面的螺絲固定。
9.根據權利要求1所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述支撐桿為豎直桿。
10.根據權利要求1所述的碳化硅晶體打磨裝置，其特征在于，所述固定桿和所述夾持裝置均為多個且沿所述水平桿的長度方向間隔設置。
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