[實用新型]一種鍍膜上下料機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020700981.1
• 申請日: 2020-04-30
• 公開（公告）號: CN212316239U
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 余海春;陳韶華;戴曉東
• 申請（專利權(quán)）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54;C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 31214
• 代理人: 周宇凡

本實用新型涉及薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種鍍膜上下料機(jī)構(gòu)，包括基板水平推送機(jī)構(gòu)、基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)、基板水平夾緊機(jī)構(gòu)以及基板豎直推送機(jī)構(gòu)，其中基板水平推送機(jī)構(gòu)連接基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)，基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)可在基板水平推送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下沿水平方向位移，且其位移行程位于鍍膜架的基板安裝位與基板水平夾緊機(jī)構(gòu)之間，基板豎直推送機(jī)構(gòu)連接基板水平夾緊機(jī)構(gòu)，基板水平夾緊機(jī)構(gòu)可在基板豎直推送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下沿豎直方向位移，且其位移行程位于基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)與料框的基板放置位之間。本實用新型的優(yōu)點是：實現(xiàn)基板的全自動上下料，機(jī)構(gòu)整體動作節(jié)拍快，可縮短基板上下料過程所需的時間，極大提高鍍膜流程的整體速度，可實現(xiàn)連續(xù)式的真空鍍膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種鍍膜上下料機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

自動化連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備成為鍍膜設(shè)備發(fā)展的趨勢之一。為實現(xiàn)真空鍍膜設(shè)備自動化連續(xù)式工作,其中一個關(guān)鍵是基板裝卸方式的自動化。真空鍍膜設(shè)備的基板自動裝卸機(jī)構(gòu)的設(shè)計需要考慮到與鍍膜腔室的鍍膜流程以及其他前道和后道流程的兼容性，并兼顧性能穩(wěn)定性和成本因素。

目前，裝載基板的鍍膜架往往具有一定高度，這是受真空鍍膜設(shè)備為實現(xiàn)鍍膜工藝所需各設(shè)備的集成所限，與此同時同時基板在鍍膜前或完成鍍膜后一般均采用集中式擺放，即集中擺放到料框上。因此，料框與真空鍍膜設(shè)備之間實質(zhì)上距離較遠(yuǎn)且具有明顯的高度差。若采用常見的多軸運(yùn)動機(jī)構(gòu)來對基板進(jìn)行上下料操作的話，則需要對機(jī)構(gòu)作出極高的精度要求及控制要求，而且上下料效率也極低，不利于鍍膜設(shè)備的進(jìn)一步發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種鍍膜上下料機(jī)構(gòu)，通過配置不同夾持方向的夾緊機(jī)構(gòu)對基板進(jìn)行夾持并配合推送機(jī)構(gòu)進(jìn)行交接，實現(xiàn)了基板在鍍膜架與料框之間的上下料。

本實用新型目的實現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成：

一種鍍膜上下料機(jī)構(gòu)，用于將存放在料框上的未鍍膜的基板安裝至鍍膜架上實現(xiàn)上料，并將所述鍍膜架上已完成鍍膜的基板卸下并放回所述料框上，其特征在于：包括基板水平推送機(jī)構(gòu)、基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)、基板水平夾緊機(jī)構(gòu)以及基板豎直推送機(jī)構(gòu)，其中所述基板水平推送機(jī)構(gòu)連接所述基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)，所述基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)可在所述基板水平推送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下沿水平方向位移，且其位移行程位于所述鍍膜架的基板安裝位與所述基板水平夾緊機(jī)構(gòu)之間，所述基板豎直推送機(jī)構(gòu)連接所述基板水平夾緊機(jī)構(gòu)，所述基板水平夾緊機(jī)構(gòu)可在所述基板豎直推送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下沿豎直方向位移，且其位移行程位于所述基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)與所述料框的基板放置位之間。

所述料框連接料框推送機(jī)構(gòu)，所述料框推送機(jī)構(gòu)可驅(qū)動所述料框位移以實現(xiàn)相對于所述基板水平夾緊機(jī)構(gòu)位置的所述基板放置位的切換。

所述鍍膜架連接有轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)可驅(qū)動所述鍍膜架旋轉(zhuǎn)以實現(xiàn)相對于所述基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)位置的所述基板安裝位的切換。

所述基板豎直夾緊機(jī)構(gòu)和所述水平夾緊機(jī)構(gòu)分別指的是，從所述基板的豎直方向兩端對所述基板進(jìn)行夾緊的夾持機(jī)構(gòu)，以及從所述基板的水平方向的兩端對所述基板進(jìn)行夾緊的夾持機(jī)構(gòu)。

本實用新型的優(yōu)點是：實現(xiàn)基板的全自動上下料，可將未鍍膜的基板從料框安裝到真空鍍膜設(shè)備的鍍膜架上，同時將已鍍膜的基板從鍍膜架上卸下并放回料空曠上；對基板的上下料過程安全性高，保證基板質(zhì)量；機(jī)構(gòu)整體動作節(jié)拍快，可縮短基板上下料過程所需的時間，極大提高鍍膜流程的整體速度，可實現(xiàn)連續(xù)式的真空鍍膜；結(jié)構(gòu)簡單合理，采用模塊化設(shè)計，便于后期的檢修維護(hù)，適于推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型所針對的鍍膜架的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式