[實用新型]硅片送料啟動檢測裝置其送料裝置

有效

• 申請號: 202020694499.1
• 申請日: 2020-04-29
• 公開（公告）號: CN212049450U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 劉真;李思波;郭進
• 申請（專利權）人: 無錫喆創科技有限公司
• 主分類號: B65G47/82
• 分類號: B65G47/82;B65G49/06;B65G43/08;B65G15/58;B08B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉一種硅片送料檢測裝置，尤其是硅片送料啟動檢測裝置，包括升降裝置，所述升降裝置位于料盒的上方；升降座，所述升降座安裝在檢測升降裝置上；進料傳感器，所述進料傳感器安裝在升降座上；檢測桿，所述檢測桿轉動安裝在升降座上，所述檢測桿的一端用于與料盒中的硅片接觸，所述檢測桿的另一端用于檢測桿一端與硅片接觸后觸發所述進料傳感器；檢測復位裝置，所述檢測復位裝置安裝在檢測桿與升降座之間，所述檢測復位裝置用于檢測桿保持不觸發所述進料傳感器的狀態。本實用新型提供的硅片送料啟動檢測裝置將傳感器設置在水槽的外部，不受水槽中泥沙影響，檢測結果準確可靠，并且傳感器使用壽命長。

技術領域

本實用新型涉一種硅片送料檢測裝置，尤其是硅片送料啟動檢測裝置其送料裝置。

背景技術

料盒中裝有初步清洗過的硅片，硅片疊加在一起，需要對硅片進行分片，現有的硅片分片機通過水刀將硅片分離，然后通過豎向送料裝置和變向送料裝置以送料導軌將硅片依次插到花籃上。由于硅片的分片是浸沒在水中進行的，水刀上的進料一側裝有對射式光電傳感器，送料驅動裝置在料盒放入到送料導軌上后啟動，通過送料桿推動料盒向水刀移動，當光電傳感器檢測到硅片后降低送料驅動裝置的移動速度，將送料驅動裝置的移動方式切換為分片驅動，送料驅動裝置推動料盒在送料導軌上向水刀緩慢移動，水刀進行分片，分片后的硅片被豎向送料裝置的吸片平帶吸附上升。由于硅片僅僅是初步清洗，因此含有大量的泥沙，而在分片過程中泥沙留在水槽中導致水中含有大量的泥沙和硅片碎片，因此在更換為清水后使用一段時間后，水槽中的泥沙較多，水很渾濁，影響了對射式光電傳感器檢測硅片，容易檢測到錯誤的結果，導致生產不能正常進行，比如沒有放入料盒，而光電傳感器的光線被阻斷，系統誤以為已經裝入裝有硅片的料盒，啟動送料裝置和水刀進行分片操作，而實際上并沒有放入料盒，設備啟動后需要人工重新操作將設備復位，大大影響了生產效，同時由于水中具有腐蝕性大大縮短了光電傳感器的使用壽命。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種不受水槽中泥沙影響，檢測結果準確可靠，傳感器使用壽命長的硅片送料啟動檢測裝置，具體技術方案為：

硅片送料啟動檢測裝置，包括升降裝置，所述升降裝置位于料盒的上方；升降座，所述升降座安裝在檢測升降裝置上；進料傳感器，所述進料傳感器安裝在升降座上；檢測桿，所述檢測桿轉動安裝在升降座上，所述檢測桿的一端用于與料盒中的硅片接觸，所述檢測桿的另一端用于檢測桿一端與硅片接觸后觸發所述進料傳感器；檢測復位裝置，所述檢測復位裝置安裝在檢測桿與升降座之間，所述檢測復位裝置用于檢測桿保持不觸發所述進料傳感器的狀態。

通過采用上述技術方案，升降裝置將檢測桿插入到水槽中，當料盒在送料驅動裝置的推動下與檢測桿接觸并推動檢測桿，檢測桿發生轉動，檢測桿的另一端移動到進料傳感器的下方，進料傳感器檢測到信號，將送料驅動裝置的移動方式切換為分片送料，同時升降裝置將檢測桿從水槽中升起，不影響送料。

由于進料傳感器不在水槽內，因此不受水槽內泥沙的影響，大大提高了檢測的準確性，同時延長了進料傳感器的使用壽命。

進一步的，所述檢測升降裝置包括檢測氣缸，所述檢測氣缸固定在料盒的上方，所述升降座固定在檢測氣缸的活塞桿上。

通過采用上述技術方案，采用檢測氣缸使結構和控制簡單，并且檢測桿縮回的速度快。

進一步的，所述進料傳感器為接近開關或微動開關。

進一步的，所述檢測復位裝置包括彈簧，所述彈簧的一端固定在升降座上，另一端固定在檢測桿上。

通過采用上述技術方案，彈簧使檢測桿的另一端保持遠離進料傳感器，避免發生誤檢，提高檢測的準確性。彈簧可以采用扭簧、拉簧和圓柱彈簧等。

進一步的，還包括轉動座，所述轉動座固定在升降座上，所述轉動座上設有轉動槽，所述檢測桿轉動安裝在轉動槽內，所述彈簧的一端安裝在轉動槽內，另一端壓在檢測桿上。