[實用新型]一種卷料放卷裝置及原子層沉積設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020682257.0 | 申請日： | 2020-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN212355831U | 公開（公告）日： | 2021-01-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李哲峰;烏磊 | 申請（專利權）人： | 深圳市原速光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B65H16/10 | 分類號： | B65H16/10;B65H16/06 |
| 代理公司： | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人： | 肖文靜 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 卷料放卷 裝置 原子 沉積 設備 | ||
1.一種卷料放卷裝置，其特征在于，卷料放卷裝置包括：
機座；
兩組滑動件，兩組所述滑動件設置于所述機座上；
兩組支撐件，兩組所述支撐件間隔設置，兩組所述支撐件分別滑動設置于兩組所述滑動件上；
轉軸，所述轉軸的兩端分別轉動設置于兩組所述支撐件上，所述轉軸上套設有卷料。
2.如權利要求1所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述滑動件為導軌機構。
3.如權利要求1所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述支撐件包括：
底座，所述底座設置于所述滑動件上；
支撐架，所述支撐架設置在所述底座上，所述支撐架上設置有通孔，所述轉軸轉動設置于所述通孔內。
4.如權利要求3所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述支撐架上還設置有加強筋，所述加強筋連接所述底座和所述支撐架。
5.如權利要求3所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述卷料放卷裝置還包括：
至少一連接桿，每根所述連接桿的兩端分別連接兩所述底座。
6.如權利要求1所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述卷料放卷裝置還包括：
至少兩滾動件，至少兩所述滾動件鉸接于所述機座上，至少兩所述滾動件沿所述轉軸的軸線方向間隔設置；
其中，所述機座沿所述轉軸的軸線方向往復運動時，至少兩所述滾動件沿所述轉軸的軸線方向滾動。
7.如權利要求1所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述轉軸的周壁上設置有若干緊固凸起；
其中，所述卷料套設于所述轉軸后，所述緊固凸起用于將所述卷料固定于所述轉軸上。
8.如權利要求3所述的卷料放卷裝置，其特征在于，所述支撐件還包括：
墊片，所述墊片設置于所述滑動件上，所述底座設置于所述墊片上。
9.一種原子層沉積設備，其特征在于，包括如權利要求1-8任一項所述的卷料放卷裝置，所述原子層沉積設備還包括：
原子層沉積裝置，所述原子層沉積裝置接收所述轉軸上的所述卷料，并對所述卷料進行原子層沉積作業(yè)。
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