[實用新型]一種用于檢測半導體的設備及關鍵結構

有效

• 申請號: 202020673887.1
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN212229092U
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 于海超;趙梁玉;周明;劉明星
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/067;G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于檢測半導體的設備及關鍵結構，所述設備包括檢測臺、運輸帶、外觀檢測儀、翻轉裝置、轉向輥、皮帶、轉輥、翻轉輪、支架、刷子、電氣檢測儀、電磁鐵、銜鐵、復位彈簧、連桿、探針卡、緩沖彈簧、壓桿、導引板、轉向板、電機一和收集框；所述關鍵結構包括運輸機構、檢測機構和收集機構。本實用新型結構簡單，檢測迅速，通過翻轉裝置的設置能夠對半導體進行翻轉，并能對半導體進行雙面的檢查，避免半導體檢測不全面的問題，提高固檢測的全面性；通過電磁鐵和探針卡的設置，對半導體進行電氣測試，提高檢測的便利性，后側的收集框可方便的進行分類，方便下一步操作。

技術領域

本實用新型涉及一種檢測設備，具體是一種用于檢測半導體的設備，屬于半導體檢測應用技術領域。

背景技術

半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。

半導體器件生產中，從半導體單晶片到制成最終成品，須經歷數十甚至上百道工序。為了確保產品性能合格、穩定可靠，并有高的成品率，根據各種產品的生產情況,對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求，比如對半導體單晶片的外觀完整性的檢測，以及對半導體單晶片的電氣性能的檢測。因而,現有的檢測裝置往往只能檢測單個面，對背面缺少檢測手段，檢測后缺少自動的分類和收集裝置。因此，針對上述問題提出一種用于檢測半導體的設備。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種用于檢測半導體的設備。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的，一種用于檢測半導體的設備，包括檢測臺上側的運輸機構、檢測機構和收集機構。

所述運輸機構包括運輸帶、轉向輥和翻轉裝置，所述運輸帶位于檢測臺的上側，且左端連接有電機，轉向輥位于運輸帶的中部，轉向輥通過皮帶連接翻轉裝置，所述翻轉裝置包括轉輥和外側的翻轉輪，翻轉輪由支架和外端的刷子組成；

所述檢測機構包括外觀檢測儀、電氣檢測儀和電磁鐵，外觀檢測儀位于翻轉裝置的左右兩側，外觀檢測儀通過攝像機接收信號，再通過電連接控制裝置，控制裝置中包含對比單元，進行判斷，所述電磁鐵的下方設有銜鐵，銜鐵固定在連桿上端，連桿與電磁鐵之間設有復位彈簧，連桿的下端連接有若干緩沖彈簧，緩沖彈簧的下端連接有探針卡，連桿的右側連接有壓桿，所述壓桿包括中部的彈簧和下端的滾輪，滾輪的左側設有擋板，防止卡住半導體；

所述收集機構包括導引板、轉向板和收集框，導引板固定連接在檢測臺的右側，轉向板位于導引板的下方，轉向板的軸心處連接在電機一的轉軸上，電機一固定在立柱上，收集框位于轉向板的右下方且設有兩個。

優選的，所述運輸帶的上側低于檢測臺的上側，即運輸帶的前后兩側位于檢測臺的臺面內，起到限位的作用。

優選的，所述轉向輥設有三個，中間的轉向輥位于運輸帶的上側，轉向輥通過前后兩側的立柱轉動連接在檢測臺的上方，所述支架為板狀，刷子掠過運輸帶和轉向輥的上側，帶動半導體轉動，進而進行翻轉，方便后期測試。

優選的，所述電磁鐵的基座左右兩端下側設有固定耳，連桿的上端通過凸塊滑動連接在基座的下方，給復位彈簧活動的空間。

優選的，所述探針卡的下方設有頂塊，頂塊位于運輸帶的下方，起到支撐作用，探針卡與控制裝置電連接，對測試結果進行比對。

優選的，所述壓桿的下端低于探針卡的下端，對半導體起到攔截作用，所述轉向板的上側中間部位設有凸起，起到導引的作用。

一種用于檢測半導體的設備用關鍵機構，所述關鍵結構為運輸機構，包括運輸帶、轉向輥和翻轉裝置，所述運輸帶位于檢測臺的上側，且左端連接有電機，轉向輥位于運輸帶的中部，轉向輥通過皮帶連接翻轉裝置，所述翻轉裝置包括轉輥和外側的翻轉輪，翻轉輪由支架和外端的刷子組成。