[實用新型]一種原子層沉積裝置及原子層沉積設備

有效

• 申請號: 202020673133.6
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN212335291U
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 李哲峰;烏磊
• 申請（專利權）人: 深圳市原速光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/54
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 魏蘭

本實用新型提供了一種原子層沉積裝置及原子層沉積設備，其中底板上設置有若干主固定孔和若干調節槽。本實用新型技術方案通過在底板上開設多個主固定孔，多個主固定孔用于與固定部件配合，將底板固定在外部設備上，調節槽的尺寸大于主固定孔的孔徑，當需要調整底板的偏移角度時，可以通過調節槽進行位置的微調，調節完成后，可在調節槽內設置螺釘等，以固定底板，提高底板安裝的精確度，而主固定孔用于固定安裝在底板上的其他固定部件，例如傳輸輥等。

技術領域

本實用新型涉及機械裝配技術領域，特別涉及一種原子層沉積裝置及原子層沉積設備。

背景技術

在裝配機械設備中，整機包含多個機械模組或者機構，機械模組或者機構需要功能上相互關聯，例如卷對卷設備中，由于兩個卷料的中部還設置有多個傳輸輥，卷料在傳輸過程中，卷料會發生偏移，而傳統設備中，傳輸輥直接安裝在機身上，若卷料發生偏移時，需要重新拆卸傳輸輥，在設備上重新開設安裝孔，以便于調整傳輸輥安裝后的偏移角度，造成維修和調試不便利。

實用新型內容

本實用新型的主要目的是提供一種原子層沉積裝置及原子層沉積設備，旨在解決傳統設備中，傳輸輥直接安裝在機身上，若卷料發生偏移時，需要重新拆卸傳輸輥，在設備上重新開設安裝孔，以便于調整傳輸輥安裝后的偏移角度，造成維修和調試不便利的技術問題。

為實現上述目的，本實用新型提出的一種原子層沉積裝置，所述原子層沉積裝置包括：

工作臺，所述工作臺的兩側設置有放卷組件和收卷組件；

沉積組件，所述沉積組件設置于所述工作臺上，且位于所述放卷組件和所述收卷組件之間；

傳輸組件，所述傳輸組件包括底板和若干傳動輥，所述底板上設置有若干主固定孔和若干調節槽，若干所述主固定孔位于所述底板的邊緣上，所述調節槽的尺寸大于所述主固定孔的孔徑，所述底板通過若干所述調節槽固定于所述工作臺上，且所述底板位于所述放卷組件和所述沉積組件之間，若干所述傳動輥通過多個主固定孔設置于所述底板上；

其中，物料從所述放卷組件輸出，依次經過若干所述傳動輥、所述沉積組件，并被所述收卷組件接收，所述沉積組件用于對所述物料進行原子層沉積作業。

優選的，所述底板上還設置有：

旋轉孔，所述旋轉孔位于所述底板的中部，若干所述調節槽關于所述旋轉孔的圓心環周設置。

優選地，所述調節槽呈弧形結構，所述調節槽朝向所述旋轉孔的圓心方向彎曲形成。

優選地，所述調節槽繞所述旋轉孔的圓心方向的旋轉角度為1°至3°。

優選地，所述調節槽與所述旋轉孔的圓心之間的距離為500mm-1000mm。

優選地，所述底板的長度大于1000mm。

優選地，所述底板上還設置有：

若干輔助孔，若干所述輔助孔位于所述底板的中部。

優選地，

本實用新型還提出一種原子層沉積設備，包括上述任一項所述的原子層沉積裝置，所述原子層沉積設備還包括：

機殼，所述工作臺、所述放卷組件、所述收卷組件、所述沉積組件和所述傳輸組件均位于所述機殼內。

本實用新型技術方案通過在在底板上開設多個主固定孔，多個主固定孔用于與固定部件配合，將底板固定在外部設備上，調節槽的尺寸大于主固定孔的孔徑，當需要調整底板的偏移角度時，可以通過調節槽進行位置的微調，調節完成后，可在調節槽內設置螺釘等，以固定底板，提高底板安裝的精確度，而主固定孔用于固定安裝在底板上的其他固定部件，例如傳輸輥等。

附圖說明