[實用新型]一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置

有效

• 申請號: 202020665672.5
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN212127479U
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 宋里千
• 申請（專利權）人: 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
• 主分類號: B67C3/24
• 分類號: B67C3/24;B67C3/22
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 韓慧穎

本實用新型涉及光刻膠灌裝機空氣過濾技術領域，尤其涉及一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置,解決了現有光刻膠灌裝過程中易受到粉塵污染影響質量的缺點，包括裝置底座，所述裝置底座的頂部設置有立架，所述立架的內部通過軸承連接有導桿，立架的底部一側還通過螺栓固定有升降電機，所述導桿的外側套設有連接塊，其通過連接塊螺栓固定有水平設置的電動伸縮缸，所述電動伸縮缸的伸縮端連接有擋塵罩，所述擋塵罩的內部活動連接有擋塵蓋，擋塵罩的一側通過螺栓固定有開關電機，擋塵罩的兩側還分別通過螺栓固定有負壓風機和過濾頭，通過負壓風機抽取擋塵罩內的空氣，并利用濾網實現對灰塵的過濾，防止空氣中的灰塵對光刻膠造成污染，實用性強。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠灌裝機空氣過濾技術領域，尤其涉及一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置。

背景技術

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。

光刻膠生產灌裝過程中，常常會因為空氣中的粉塵遭到污染，影響光刻膠的質量。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有光刻膠灌裝過程中易受到粉塵污染影響質量的缺點，而提出的一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置，包括裝置底座，所述裝置底座的頂部設置有立架，所述立架的內部通過軸承連接有導桿，立架的底部一側還通過螺栓固定有升降電機，所述導桿的外側套設有連接塊，其通過連接塊螺栓固定有水平設置的電動伸縮缸，所述電動伸縮缸的伸縮端連接有擋塵罩，所述擋塵罩的內部活動連接有擋塵蓋，擋塵罩的一側通過螺栓固定有開關電機，擋塵罩的兩側還分別通過螺栓固定有負壓風機和過濾頭，擋塵罩和擋塵蓋的上下端部均膠黏有擋風氣囊。

優選的，所述升降電機的輸出軸和導桿的底部外側均套接有傳動帶輪，所述傳動帶輪的外側繞設有傳動帶。

優選的，所述導桿的表面設有螺紋，所述連接塊的內壁開設有與其表面螺紋對應的螺紋槽。

優選的，所述擋塵罩的內壁開設有導槽，所述擋塵蓋的外側設置有與導槽對應的導塊。

優選的，所述過濾頭的內壁卡接有三個濾網。

優選的，所述開關電機的輸出軸套接有主動齒輪，所述主動齒輪的表面設有輪齒，所述擋塵蓋的底部外側開設有與輪齒嚙合的齒槽。

本實用新型的有益效果是：

1、通過升降電機驅動導桿轉動，導桿轉動帶動螺紋連接的連接塊一側螺栓固定的電動伸縮缸實現升降，方便調節空氣過濾裝置的高度，適應不同灌裝容器的高度。

2、在擋塵罩的一側內部通過滑動連接擋塵蓋，并在擋塵罩的一側外部螺栓固定輸出軸套接有主動齒輪的開關電機，使其帶動底部外側開設有與主動齒輪嚙合齒槽的擋塵蓋實現在擋塵罩內壁滑動，方便套入灌裝機出膠口和灌裝容器間。

3、通過負壓風機抽取擋塵罩內的空氣，并利用濾網實現對灰塵的過濾，防止空氣中的灰塵對光刻膠造成污染，實用性強。

4、在擋塵罩和擋塵蓋的上下端均膠黏擋風氣囊，使擋風氣囊上下部分別與灌裝機出膠底部和灌裝容器頂部貼合接觸，防止空氣從過濾裝置上下進入內部。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種光刻膠灌裝機用空氣過濾裝置的局部俯視剖視結構示意圖；

圖3為圖1中的A處局部剖視結構示意圖。