[實用新型]一種基片清洗支撐結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020655262.2
• 申請日: 2020-04-26
• 公開（公告）號: CN212285219U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳保國;李弋舟;李珍
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙韶光鉻版有限公司
• 主分類號: B08B11/02
• 分類號: B08B11/02;B08B11/04;B08B13/00
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強;張鮮

本實用新型公開了一種基片清洗支撐結(jié)構(gòu)，包括支架和多組可拆卸安裝于支架頂部的固定機構(gòu)組，所述支架的中心位置開設(shè)有用于與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相連的豎向的軸孔，多組固定機構(gòu)組沿軸孔徑向間隔布置，每組固定機構(gòu)組用于固定一個規(guī)格的基片，所述基片可通過相應(yīng)的固定機構(gòu)組支撐于支架的上方。由此，需要更換不同尺寸的勻膠鉻版進(jìn)行清洗時，只需拆除已清洗的勻膠鉻版，再將待清洗的勻膠鉻版采用相應(yīng)的固定機構(gòu)組固定于支架上，因此無需更換清洗支架，也無需設(shè)計多種清洗支架，不僅節(jié)約了成本，而且提高了清洗效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光學(xué)元件制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基片清洗支撐結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

勻膠鉻版是在特種玻璃基片上鍍上一層鉻膜、再在鉻膜上鍍上一層感光膠，主要用作集成電路制造過程中的光掩膜材料。勻膠鉻版在鍍膜前和鍍膜后都要潔凈清洗，主要用稀硫酸及其它清洗劑清洗，使得膜前、膜后表面不得有任何大小顆粒物，表面潔凈。

小尺寸勻膠鉻版品種多，數(shù)量少，尺寸不一（4英寸到8英寸）。 目前市面上的清洗裝置只能清洗一個品種的基片，且原有清洗支持裝置為剛性結(jié)構(gòu)，對自動化生產(chǎn)改造不利，難以適應(yīng)多品種小尺寸勻膠鉻版的同時生產(chǎn)。因此針對不同尺寸的勻膠鉻版，需要設(shè)計多種清洗支持裝置，增加了生產(chǎn)成本。且每次更換清洗品種時，需要更換清洗支架，導(dǎo)致清洗效率低。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可適應(yīng)多品種小尺寸勻膠鉻版清洗的基片清洗支撐結(jié)構(gòu)。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種基片清洗支撐結(jié)構(gòu)，包括支架和多組可拆卸安裝于支架頂部的固定機構(gòu)組，所述支架的中心位置開設(shè)有用于與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相連的豎向的軸孔，多組固定機構(gòu)組沿軸孔徑向間隔布置，每組固定機構(gòu)組用于固定一個規(guī)格的基片，所述基片可通過相應(yīng)的固定機構(gòu)組支撐于支架的上方。

由此，需要更換不同尺寸的勻膠鉻版進(jìn)行清洗時，只需拆除已清洗的勻膠鉻版，再將待清洗的勻膠鉻版采用相應(yīng)的固定機構(gòu)組固定于支架上，因此無需更換清洗支架，也無需設(shè)計多種清洗支架，不僅節(jié)約了成本，而且提高了清洗效率。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：

每組固定機構(gòu)組包括四個環(huán)向間隔均布在軸孔周圍的固定組件，每個固定組件用于固定相應(yīng)基片的角部。

每個固定組件包括兩組卡件，兩組卡件之間形成相應(yīng)基片角部的卡設(shè)空間。通過兩組卡件將基片的角部固定，從而避免基片在隨支架旋轉(zhuǎn)過程中由于離心力的作用而發(fā)生位置偏移或掉落。

所述卡件為擋釘，所述擋釘與支架螺紋連接。

每個固定組件還包括支撐件，所述基片的角部支撐于相應(yīng)的支撐件上。

所述支撐件為球面支承釘，所述球面支承釘與支架螺紋連接。球面支承釘用于支承基板，并且減小接觸面，以免對基片產(chǎn)生劃傷和污染。

作為支架的一種具體結(jié)構(gòu)形式，所述支架包括中心部和四個與中心部相連的安裝部，所述軸孔開設(shè)于中心部上，四個安裝部呈環(huán)向間隔均布在軸孔周圍；安裝部從中心部徑向向外延伸，每組固定機構(gòu)的其中一個固定組件分布于相應(yīng)的安裝部上。

所述支架頂部沿徑向具有多個呈階梯狀逐級升高的臺階部，所述臺階部與固定機構(gòu)組一一對應(yīng)，相鄰臺階部的高度差使得上一級臺階部上的基片位于下一級臺階部上的固定機構(gòu)組和基片的上方。從而，多個品種的勻膠鉻版可同時清洗。

多個臺階部由內(nèi)向外逐級升高指的是多個臺階部從支架的中心至支架的邊緣逐級升高。

所述支架包括中心部和四個與中心部相連的安裝部，所述軸孔開設(shè)于中心部上，四個安裝部呈環(huán)向間隔均布在軸孔周圍；安裝部從中心部徑向向外延伸，每組固定機構(gòu)的其中一個固定組件分布于相應(yīng)的安裝部上。