[實用新型]一種高效多功能半導體晶片清洗裝置有效
| 申請號： | 202020647266.6 | 申請日： | 2020-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN211788933U | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 成都富源華能科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 何艷娥 |
| 地址： | 610000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高效 多功能 半導體 晶片 清洗 裝置 | ||
1.一種高效多功能半導體晶片清洗裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定連接有液壓缸(3)和箱體(2)，所述液壓缸(3)的伸縮桿固定連接有活動桿件(4)，所述活動桿件(4)固定連接有升降板(5)，所述升降板(5)的上表面遠離所述活動桿件(4)的一端固定連接有電機一(6)，所述電機一(6)的旋轉軸貫穿所述升降板(5)固定連接有頂板(7)，所述頂板(7)固定連接有連接殼(8)，所述連接殼(8)固定連接有底板(12)，所述頂板(7)的下表面中部固定連接有電機二(9)，所述電機二(9)轉動連接有若干旋轉軸(13)，所述旋轉軸(13)固定連接有放置架(14)。
2.根據權利要求1所述的一種高效多功能半導體晶片清洗裝置，其特征在于，所述箱體(2)的上表面開設有若干放置槽，所述電機一(6)的旋轉軸與所述升降板(5)轉動連接。
3.根據權利要求1所述的一種高效多功能半導體晶片清洗裝置，其特征在于，所述電機二(9)的旋轉軸固定連接有主動輪(10)，所述主動輪(10)嚙合有若干從動輪(11)，所述從動輪(11)固定連接在所述旋轉軸(13)遠離所述放置架(14)的一端。
4.根據權利要求1所述的一種高效多功能半導體晶片清洗裝置，其特征在于，所述旋轉軸(13)貫穿所述底板(12)固定連接所述放置架(14)，所述旋轉軸(13)與所述底板(12)轉動連接。
5.根據權利要求2所述的一種高效多功能半導體晶片清洗裝置，其特征在于，所述箱體(2)上的放置槽與所述放置架(14)的大小相匹配，且在同一軸線上。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
