[實用新型]一種多探測器的X射線熒光微區掃描儀器

有效

• 申請號: 202020646943.2
• 申請日: 2020-04-25
• 公開（公告）號: CN212207172U
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 劉明博;趙雷;胡學強;楊博贊
• 申請（專利權）人: 鋼研納克檢測技術股份有限公司
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223;G01N23/2204
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 趙萬凱

1.一種多探測器的X射線熒光微區掃描儀器，包括X射線發生裝置(1)、X射線收束裝置(2)、探測裝置(4)、移動裝置(5)及分析處理數據信息的計算機，其特征是：所述探測裝置(4)包括至少兩個探測器(11)，所有探測器(11)的探測面與X射線收束裝置(2)的射出焦點之間的距離相等。

2.根據權利要求1所述的多探測器的X射線熒光微區掃描儀器，其特征是：所述X射線發生裝置(1)包括小焦斑X射線管，所述X射線收束裝置(2)為將X射線發生裝置(1)產生的X射線匯聚的多毛細管X射線透鏡。

3.根據權利要求2所述的多探測器的X射線熒光微區掃描儀器，其特征是：所述X射線發生裝置(1)的下方連接有安裝架(8)，所述安裝架(8)下端面的中部成型有空腔(9)，所述多毛細管X射線透鏡豎直向下伸入空腔(9)內。

4.根據權利要求3所述的多探測器的X射線熒光微區掃描儀器，其特征是：所述安裝架(8)的外側面均布成型有數量與探測器(11)數量相同的第一安裝面(10)，第一安裝面(10)從上往下均向遠離空腔(9)的方向傾斜，每個探測器(11)單獨對應安裝在一個第一安裝面(10)上，所述探測器(11)上設置有探測面的一端伸入空腔(9)內。

5.根據權利要求4所述的多探測器的X射線熒光微區掃描儀器，其特征是：所述安裝架(8)的外側面位于兩個第一安裝面(10)之間的位置成型有第二安裝面(12)，所述第二安裝面(12)上安裝有同軸雙眸攝像機，同軸雙眸攝像機的物鏡(13)端伸入空腔(9)內，所述同軸雙眸攝像機的物鏡(13)的焦點和多毛細管X射線透鏡的射出焦點聚焦在同一點。

6.根據權利要求5所述的多探測器的X射線熒光微區掃描儀器，其特征是：所述移動裝置(5)選用XYZ三軸數控平臺，數控平臺采用光柵尺位移傳感器對數控平臺在XYZ三軸方向的位移量進行調控。