[實用新型]一種堆疊式光波導結構有效
| 申請號： | 202020633630.3 | 申請日： | 2020-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN212111857U | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發明（設計）人： | 黃向向;楊敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;關健;張曉磊 | 申請（專利權）人： | 罕王微電子（遼寧）有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/12 | 分類號： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001 | 代理人： | 張晨 |
| 地址： | 113000 遼寧省撫順*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 堆疊 波導 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種堆疊式光波導結構，其特征在于：所述的堆疊式光波導結構，包括襯底晶圓(1)，光波導層(2)，光纖(3)，光纖底座(4)，鍵合界面(5)；
其中：襯底晶圓(1)之間帶有鍵合界面(5)，襯底晶圓(1)上帶有光波導層(2)，在襯底晶圓(1)上帶有光纖底座(4)，光纖(3)固定在光纖底座(4)上，多層襯底晶圓(1)為整體結構，實現堆疊式多光波導器件。
2.按照權利要求1所述的堆疊式光波導結構，其特征在于：所述的襯底晶圓(1)為多層結構，下面各層設有凹槽，凹槽內布置光纖(3)，頂上面一層為蓋狀結構。
3.按照權利要求1所述的堆疊式光波導結構，其特征在于：所述的襯底晶圓(1)優選為三層結構，下面兩層設有凹槽，凹槽內布置光纖(3)，頂上面一層為蓋狀結構。
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