[實用新型]一種真空樣品轉移裝置

有效

• 申請號: 202020587354.1
• 申請日: 2020-04-20
• 公開（公告）號: CN212083474U
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 張政;陳棟;郭云飛;黃勇;衡潘
• 申請（專利權）人: 上海微納國際貿易有限公司
• 主分類號: G01Q30/20
• 分類號: G01Q30/20;G01Q30/16
• 代理公司: 上海怡恩專利代理事務所(普通合伙) 31336
• 代理人: 牟俊玲

本實用新型公開了一種真空樣品轉移裝置，屬于掃描電鏡真空配件技術領域。它包括傳樣部分、球閥、對接部分和樣品測試部分，所述傳樣部分包括旋轉滑塊、密封板、傳樣筒、樣品夾臺、樣品托、移動抓取機構、傳樣桿、固定筒。本實用新型隔絕了待測樣品與大氣的接觸，避免了樣品受空氣污染或侵蝕，使樣品一直處于真空環境；避免了每次測樣都需要打開電鏡艙門，節省了重新抽真空的時間，使得電鏡一直處于真空狀態下；提高了電鏡的使用壽命，同時掃描電鏡出故障幾率，節約昂貴的維修費用，提高儀器的使用率。

技術領域

本實用新型涉及一種真空樣品轉移裝置，屬于掃描電鏡真空配件技術領域。

背景技術

現在越來越多的電鏡實驗中需要將樣品在真空或者惰性氣體下進行轉移，因為這些材料在大氣中一旦暴露，就會受到空氣中的水和氧氣的影響，和樣品表面的物質發生化學反應，導致無法對材料進行觀察分析。

發明內容

本實用新型針對上述背景技術中所提及的問題，而采取以下技術方案來實現：

一種真空樣品轉移裝置，包括傳樣部分、球閥、對接部分和樣品測試部分，所述傳樣部分包括旋轉滑塊、密封板、傳樣筒、樣品夾臺、樣品托、移動抓取機構、傳樣桿、固定筒，所述傳樣筒的一側與球閥一端相連通，所述對接部分與球閥另一端相連通，所述樣品測試部分位于對接部分的一側，所述傳樣桿包括第一傳樣桿和第二傳樣桿，所述第一傳樣桿一端和第二傳樣桿螺紋連接，所述傳樣筒套設在第一傳樣桿的一端，且所述傳樣筒的內部還設有用于對第一傳樣桿起密封作用的第一密封機構，所述移動抓取機構的一端與樣品夾臺通過旋轉螺絲可拆卸式固定相連，所述樣品托固定安裝在樣品夾臺上，所述旋轉滑塊的一側通過螺絲與密封板固定連接，所述旋轉滑塊的一端還設有用于旋轉旋轉滑塊的傳動機構，當所述傳動機構對旋轉滑塊進行旋轉時，此時所述密封板將傳樣筒與球閥連通處進行封堵和/或分離。

作為優選實例，所述移動抓取機構包括移動抓取頭、移動滑塊、移動彈簧，所述移動抓取頭的形狀為臺型狀，所述第一傳樣桿的另一端螺紋套接在移動抓取頭的一端，所述移動滑塊和移動彈簧均分別位于移動抓取頭的內部，且位于移動抓取頭內部的第一傳樣桿與移動彈簧相固定，且所述移動彈簧還限制活動在臺型狀的移動抓取頭的內部，所述移動滑塊的一端與移動彈簧的另一端相固定，所述旋轉螺絲的一端貫穿并伸入移動抓取頭的內部，并與移動滑塊的另一端相抵，所述旋轉螺絲的另一端與樣品夾臺相固定，所述移動抓取頭的一端設有與旋轉螺絲相匹配的旋轉孔，當所述樣品夾臺與移動抓取頭相固定時，此時所述旋轉螺絲還卡接在旋轉孔內部。

作為優選實例，所述旋轉孔的形狀為L型孔。

作為優選實例，所述第一密封機構包括第一O圈壓塊、第一型密封圈和第一螺母，所述傳樣筒的內部還設有第一通道和第二通道，所述第一通道位于傳樣筒的內部，所述第二通道位于傳樣筒的一端端部，所述第一通道一端與第二通道一側相連通，且所述第二通道和第一通道形成T型通道，所述第一圈壓塊和第一O型密封圈的個數均為多個，且多個所述第一圈壓塊和多個第一O型密封圈交替分布在第一通道的內部，多個所述第一圈壓塊和多個第一O型密封圈均套接在第一傳樣桿上，所述第一螺母活動套接在第一傳樣桿上，且所述第一螺母的一側與第二通道內側壁螺紋連接，并壓緊第一圈壓塊的一端。

作為優選實例，所述傳動機構包括回位彈簧、固定筒、旋轉軸、旋轉手柄，所述固定筒固定套接在傳樣筒上，且所述固定筒內部通道與傳樣筒的第一通道相連通，所述旋轉軸固定套接在固定筒的內部，且所述固定筒的內部還設有用于對旋轉軸起密封作用的第二密封機構，并伸入傳樣筒的內部，且與旋轉滑塊相固定，所述旋轉手柄與旋轉軸的一端相固定，所述回位彈簧套接在旋轉軸上，且所述回位彈簧的一端與旋轉手柄相抵，所述回位彈簧的另一端與固定筒的側壁上的第二密封機構相抵。