[實用新型]一種用于筒形靶材的燒結工裝

有效

• 申請號: 202020584211.5
• 申請日: 2020-04-17
• 公開（公告）號: CN212350367U
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 姜海;唐培新;呂曉明;姜慧;王瑞剛;許鳳志
• 申請（專利權）人: 河北宏靶科技有限公司
• 主分類號: B22F3/10
• 分類號: B22F3/10;C23C14/34
• 代理公司: 北京中強智尚知識產權代理有限公司 11448
• 代理人: 黃耀威

本實用新型公開了一種用于筒形靶材的燒結工裝，包括包套和燒結機構，包套包括錐形腔和與錐形腔同軸連通的筒形腔；燒結機構包括支撐圓筒和與支撐圓筒同軸連通的錐形筒，包套放置在燒結機構內后，錐形筒與錐形腔接觸連接，其中，支撐圓筒長度大于筒形腔的長度、內直徑大于筒形腔的外直徑。本實用新型通過將包套放置在燒結機構內后，錐形筒與錐形腔接觸連接，使包套以直立狀態固定在燒結機構內；再通過使包套的底部在支撐圓筒內懸空，進而使包套在沒有摩擦阻力的阻礙下，在溫度與壓力作用下進行自由收縮，進而降低靶材彎曲變形，提高產品合格率。

技術領域

本實用新型屬于粉末冶金燒結技術領域，具體涉及一種用于筒形靶材的燒結工裝。

背景技術

目前使用的大部分濺射靶材構造為圓形或矩形平面靶，然而平面靶材利用率低，僅30％-40％的靶材利用率。因此，為了提高濺射效率，越來越多的使用筒形靶材，但是筒形靶材制造比平面靶的制造更加困難。

由于，筒形靶材大多為較長的靶材，因此，沿長度的變形尤其被視為影響產品合格的問題，如果筒形靶材在長度上變形，會導致與插入筒形靶材內部的磁鐵接觸而導致磁鐵與靶材內壁互相摩擦，導致磁體損壞，所以筒形靶材在制作過程中長度變形會導致靶材不合格，成為制約材料合格率低的重要因素。

實用新型內容

針對以上現有技術存在的不足之處，本實用新型提供了一種用于筒形靶材的燒結工裝，通過使筒形靶材在燒結過程中在無阻力下自由收縮，降低靶材彎曲變形，提高產品合格率。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于筒形靶材的燒結工裝，包括：

包套，包括錐形腔和與所述錐形腔同軸連通的筒形腔；

燒結機構，包括支撐圓筒和與所述支撐圓筒同軸連通的錐形筒，所述包套放置在所述燒結機構內后，所述錐形筒與所述錐形腔接觸連接，其中，所述支撐圓筒長度大于所述筒形腔的長度、內直徑大于所述筒形腔的外直徑。

進一步的，所述錐形筒的尺寸由內向外逐漸增大，且所述錐形筒的錐角小于所述錐形腔的錐角，所述錐形筒的高度大于所述錐形腔的高度。

進一步的，所述錐形筒與所述支撐圓筒的連接處的直徑與所述支撐圓筒的直徑相同。

進一步的，在所述支撐圓筒上分布設有多個傳熱孔。

進一步的，所述支撐圓筒和錐形筒均由氧化鋁或氧化鋯耐火磚制成。

進一步的，所述包套上的錐形腔和筒形腔由內包套和外包套圍成，其中，所述內包套由不銹鋼無縫管加工而成，所述外包套由低碳鋼管制備而成。

進一步的，所述外包套的壁厚小于所述內包套的壁厚。

進一步的，所述錐形腔的頂部設有脫氣嘴。

本實用新型提供的一種用于筒形靶材的燒結工裝，通過將支撐圓筒和錐形筒同軸連通，并在包套放置在燒結機構內后，錐形筒與錐形腔接觸連接，使錐形腔固定在錐形筒內，進而使包套以直立狀態固定在燒結機構內；再通過將支撐圓筒長度大于筒形腔的長度、內直徑大于筒形腔的外直徑，使在溫度與壓力作用下處于緩慢收縮的包套沿著燒結機構的內壁運動的同時，使包套的底部在支撐圓筒內懸空，進而使包套在沒有摩擦阻力的阻礙下，在溫度與壓力作用下進行自由收縮，進而降低靶材彎曲變形，提高產品合格率。

本實用新型的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型而了解。本實用新型的目的和其他優點可通過在所寫的說明書、權利要求書、以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明