[實用新型]用于檢測光源均勻性的檢測系統有效
| 申請號： | 202020571819.4 | 申請日： | 2020-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN212539575U | 公開（公告）日： | 2021-02-12 |
| 發明（設計）人： | 顏博霞;亓巖;王延偉;韓哲;范元媛;王宇 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京辰權知識產權代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 檢測 光源 均勻 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于檢測光源均勻性的檢測系統，其特征在于，包括：熒光部件、濾光部件、攝像部件、處理部件及顯示部件；
所述熒光部件包含熒光物質，用于接受待測光源發射的光波，以激發熒光物質發射具有熒光波長的熒光輻射；
所述濾光部件，用于使所述熒光物質發射的熒光輻射通過，而使所述待測光源發射的光波過濾；
所述攝像部件分別與所述處理部件和所述顯示部件通信連接，所述攝像部件用于感應通過所述濾光部件的所述熒光輻射，生成所述熒光輻射對應的光譜圖像，并將所述光譜圖像發送至所述處理部件和所述顯示部件；
所述處理部件與所述顯示部件通信連接，所述處理部件用于對獲取到的光譜圖像進行處理分析，依據所述光譜圖像中不同位置的熒光輻射強度，判斷待測光源的均勻性是否合格，并將判斷結果發送至所述顯示部件；
所述顯示部件，用于顯示所述光譜圖像和所述判斷結果。
2.根據權利要求1所述的檢測系統，其特征在于，所述熒光物質具有均勻的預設溶度。
3.根據權利要求1或2所述的檢測系統，其特征在于，所述熒光部件為石英玻璃制作的長方體盒子。
4.根據權利要求1所述的檢測系統，其特征在于，所述待測光源的發光功率小于等于預設功率。
5.根據權利要求1所述的檢測系統，其特征在于，所述待測光源為線激光光源或面激光光源。
6.根據權利要求1所述的檢測系統，其特征在于，所述攝像部件為CCD相機。
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