[實(shí)用新型]一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020567176.6
• 申請(qǐng)日: 2020-04-16
• 公開（公告）號(hào): CN211926936U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉偉炫;劉雄波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市鴻達(dá)測(cè)量?jī)x器有限公司
• 主分類號(hào): G01D21/02
• 分類號(hào): G01D21/02;G01D11/24;G01D11/30
• 代理公司: 廣東榮海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44630
• 代理人: 劉賽軍

1.一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)，包括機(jī)器外殼(1)、Z軸馬達(dá)(4)、X軸馬達(dá)(12)和Y軸馬達(dá)(19)，其特征在于：所述機(jī)器外殼(1)的內(nèi)部固定安裝有Z軸導(dǎo)向桿(2)，且Z軸導(dǎo)向桿(2)的外側(cè)套設(shè)有Z軸導(dǎo)向塊(3)，并且Z軸導(dǎo)向桿(2)的下端固定安裝有Z軸馬達(dá)(4)，所述Z軸導(dǎo)向桿(2)上固定有第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)，且第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)的外壁上分別固定連接有第一荷重傳感器(7)和第二荷重傳感器(8)，并且第一荷重傳感器(7)的底部垂直安裝有探針壓板(9)，所述第二荷重傳感器(8)的底部固定連接有絕緣柱(10)，且絕緣柱(10)的下端固定安裝有測(cè)試頭(11)，所述X軸馬達(dá)(12)固定于基座底板(28)上，且基座底板(28)安裝于機(jī)器外殼(1)的底部，并且X軸馬達(dá)(12)的端部通過(guò)聯(lián)軸器(13)連接有X軸螺桿(14)，而且X軸螺桿(14)的邊側(cè)安裝有X軸導(dǎo)軌(15)，所述X軸螺桿(14)和X軸導(dǎo)軌(15)上滑動(dòng)安裝有X軸導(dǎo)向塊(16)，且X軸導(dǎo)向塊(16)的頂部固定有Y軸螺桿(17)和Y軸導(dǎo)軌(18)及Y軸馬達(dá)(19)，Y軸導(dǎo)軌(18)和Y軸馬達(dá)(19)之間通過(guò)同步輪(20)和同步帶(21)相互連接，而且Y軸導(dǎo)軌(18)的邊側(cè)固定有極限位開關(guān)(22)，所述Y軸螺桿(17)和Y軸導(dǎo)軌(18)上活動(dòng)安裝有Y軸導(dǎo)向塊(23)，且Y軸導(dǎo)向塊(23)的頂部固定有絕緣板(24)，并且絕緣板(24)的頂部固定安裝有探針治具(25)，而且探針治具(25)和測(cè)試頭(11)上均設(shè)置有阻抗采集導(dǎo)線接口(26)，同時(shí)探針治具(25)的頂部固定連接有探針本體(27)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)，其特征在于：所述第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)相互平行設(shè)置，且第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)與機(jī)器外殼(1)為貫穿的滑動(dòng)安裝結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)，其特征在于：所述X軸螺桿(14)和Y軸螺桿(17)之間相互垂直分布，且X軸螺桿(14)和Y軸螺桿(17)的所在面相互錯(cuò)位。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)，其特征在于：所述X軸導(dǎo)向塊(16)和Y軸導(dǎo)向塊(23)分別與X軸螺桿(14)和Y軸螺桿(17)之間為貫穿的螺紋連接，且X軸導(dǎo)向塊(16)和Y軸導(dǎo)向塊(23)的底部邊緣處分別與X軸導(dǎo)軌(15)和Y軸螺桿(17)為貫穿滑動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)，其特征在于：所述Y軸導(dǎo)向塊(23)的頂部與機(jī)器外殼(1)之間貫穿設(shè)置，且機(jī)器外殼(1)和Y軸導(dǎo)向塊(23)的貫穿連接處邊側(cè)設(shè)置為褶皺網(wǎng)狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測(cè)試的多功能探針綜合測(cè)試機(jī)，其特征在于：所述探針本體(27)在探針治具(25)上等間距均勻分布，且探針本體(27)在探針治具(25)上呈8×10的規(guī)格設(shè)置。