[實用新型]一種芯片用超聲波清洗裝置

有效

• 申請號: 202020563062.4
• 申請日: 2020-04-16
• 公開（公告）號: CN212018770U
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 朱延政
• 申請（專利權）人: 江蘇止芯科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 范國剛

1.一種芯片用超聲波清洗裝置，包括殼體(1)，其特征在于，所述殼體(1)的外側設置有清洗控制裝置(2)，殼體(1)的內部滑動配合有水槽(3)，水槽(3)內壁的兩側的中部焊接有凸塊(4)，且凸塊(4)的上端面之間掛設有清洗筐(5)，清洗筐(5)的外側均勻開設有通孔，殼體(1)上端面的中部掛設有直角支架(6)，直角支架(6)包括水平部和垂直部，且直角支架(6)垂直部的中部開設有螺紋通孔，螺紋通孔內螺旋配合有螺栓(7)，直角支架(6)水平部的下端面通過螺釘安裝固定有超聲波單元(9)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片用超聲波清洗裝置，其特征在于，所述清洗控制裝置(2)包括中央處理器(10)、超聲波清洗模塊(11)和定時模塊(12)，且中央處理器(10)分別與所述超聲波清洗模塊(11)和定時模塊(12)通過電連接。

3.根據權利要求1所述的一種芯片用超聲波清洗裝置，其特征在于，所述水槽(3)兩側的上端面延伸至殼體(1)外。

4.根據權利要求1所述的一種芯片用超聲波清洗裝置，其特征在于，所述清洗筐(5)一側的中部設有凹槽，且超聲波單元(9)位于清洗筐(5)中部開設的凹槽內。

5.根據權利要求1所述的一種芯片用超聲波清洗裝置，其特征在于，所述螺栓(7)包括轉柄部和螺紋部，螺栓(7)螺紋部的一端通過軸承安裝固定有橡膠塊(8)。

6.根據權利要求1所述的一種芯片用超聲波清洗裝置，其特征在于，所述超聲波單元(9)包括密閉外殼及超聲波換能器，且超聲波單元(9)與超聲波清洗模塊(11)通過電連接。