[實(shí)用新型]一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202020559729.3 | 申請(qǐng)日： | 2020-04-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN212096988U | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邢旭;李璐;唐亮;明兆坤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 長治高測(cè)新材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B28D5/04 | 分類號(hào)： | B28D5/04;B28D7/02 |
| 代理公司： | 北京卓嵐智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 任漱晨 |
| 地址： | 046000 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 硅片 切割 潤滑 冷卻 裝置 | ||
1.一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，和切片機(jī)相配合，其特征在于，包括冷卻裝置和樹脂板，所述冷卻裝置和樹脂板配合使用，所述冷卻裝置包括依次連接的噴頭、連接管和閥門，所述樹脂板內(nèi)設(shè)置有供冷卻液通過的冷卻液通道，所述噴頭與冷卻液通道相連通，用于為硅片切割進(jìn)行輔助冷卻和潤滑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，其特征在于，所述樹脂板沿著晶硅寬度的一端設(shè)置有多個(gè)冷卻液入口，且樹脂板的另一端設(shè)置有冷卻液出口，冷卻液入口和冷卻液出口通過冷卻液通道相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，其特征在于，所述噴頭的內(nèi)部設(shè)置有容納冷卻液的空間，噴頭的內(nèi)部包括位于上部的進(jìn)液部和下部的出液部，且進(jìn)液部和出液部相互連通并成一體結(jié)構(gòu)，所述出液部設(shè)置有與冷卻液入口相配合的噴嘴，所述進(jìn)液部設(shè)置有進(jìn)液口與連接管相連通，所述進(jìn)液口設(shè)置于噴嘴的上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻液入口的縱截面成矩形設(shè)置，且噴嘴的縱截面成凹形設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，其特征在于，所述閥門與安裝板固連，用于和切片機(jī)固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，其特征在于，所述連接管的一端與進(jìn)液口連接，其另一端與閥門的一端相連結(jié)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的一種用于硅片切割的潤滑冷卻裝置，其特征在于，所述閥門采用兩通電磁閥。
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