[實用新型]一種晶圓測試臺

有效

• 申請號: 202020558757.3
• 申請日: 2020-04-15
• 公開（公告）號: CN212083498U
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 李云華;尹偉
• 申請（專利權）人: 江蘇矽智半導體科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種晶圓測試臺，包括底板，底板的頂端依次設置有顯微鏡組件、晶圓放置臺及六軸機械臂，且晶圓放置臺位于底板的中心位置，顯微鏡組件位于晶圓放置臺的一側，六軸機械臂位于底板的一端，且顯微鏡組件與六軸機械臂相垂直，顯微鏡組件的鏡頭位于晶圓放置臺的上方，六軸機械臂遠離底板的一端設置有夾持機構，夾持機構底部夾持有探針，晶圓放置臺包括設置在底板頂端的固定板，固定板的上方設置有安裝板，固定板的頂端與安裝板的底端分別對應設置有若干U形固定架，U形固定架內側設置有轉動框，位于同一豎直方向的兩個轉動框通過轉動桿連接。有益效果：提高晶圓測試的精準度。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，具體來說，涉及一種晶圓測試臺。

背景技術

晶圓指制造半導體晶體管或集成電路的襯底(也叫基片)。由于是晶體材料，其形狀為圓形，所以稱為晶圓。近年來隨著半導體行業的發展，晶圓的應用也越來越廣泛，對晶圓測試的精準度要求也越來越高。晶圓在制作完成后，需要檢測芯片的各項性能指標，在整個檢測過程中晶圓需要平整的固定在一個載物平面上。現如今的晶圓測試臺并不能提供高精度的晶圓測試，使得晶圓測試裝置具有一定的局限性，降低了晶圓測試的效率和精準度。

針對相關技術中的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

實用新型內容

針對相關技術中的問題，本實用新型提出一種晶圓測試臺，以克服現有相關技術所存在的上述技術問題。

為此，本實用新型采用的具體技術方案如下：

一種晶圓測試臺，包括底板，底板的頂端依次設置有顯微鏡組件、晶圓放置臺及六軸機械臂，且晶圓放置臺位于底板的中心位置，顯微鏡組件位于晶圓放置臺的一側，六軸機械臂位于底板的一端，且顯微鏡組件與六軸機械臂相垂直，顯微鏡組件的鏡頭位于晶圓放置臺的上方，六軸機械臂遠離底板的一端設置有夾持機構，夾持機構底部夾持有探針。

進一步的，為了使得電機可以帶動安裝板和載板的運動，從而增大載板的運動范圍，使得載板可以進行上下高度的調節和左右角度的調節，進而提高晶圓的檢測效率，晶圓放置臺包括設置在底板頂端的固定板，固定板的上方設置有安裝板，固定板的頂端與安裝板的底端分別對應設置有若干U形固定架，U形固定架內側設置有轉動框，位于同一豎直方向的兩個轉動框通過轉動桿連接，固定板頂端的兩個轉動框的一側分別均設置有電機，且電機的輸出軸與轉動框連接，安裝板的中心位置設置有開孔，安裝板兩側均設置有套筒，套筒內均穿插設置有伸縮桿，伸縮桿遠離電機的一端與載板連接，固定板的中間位置設置有氣缸，氣缸與轉動框連接，氣缸內部穿插設置有推動桿，推動桿的頂端貫穿開孔并通過轉動框及U形固定架與載板底端連接。

進一步的，為了通過控制扳手控制卡爪的前后運動，從而使得卡爪便于對夾持物體進行夾持和拆卸，進而提高工作人員的工作效率，進而提高晶圓測試的精準度，夾持機構包括底盤，底盤內部開設有空腔，底盤中間位置設置有中心孔，空腔內設置有卡盤體，空腔內且位于卡盤體一側設置有錐齒輪遠離中心孔的一端開設有扳手孔，且底盤的側壁開設有與扳手孔相配合的通孔，底盤的一側開設有若干滑動槽，滑動槽的內部設置有與卡盤體相嚙合的卡爪。

進一步的，為了使得卡爪能夠嚙合螺旋槽進行運動，從而使得卡爪便于夾持與拆卸夾持物體，進而提高工作人員的檢測效率，卡盤體遠離錐齒輪的一側設置有與卡爪相嚙合的螺旋槽，卡盤體遠離卡爪的一側環繞設置有若干與錐齒輪相嚙合的輪齒。

進一步的，為了使得彈簧可以抵消針頭的回彈力，通過滑塊和滑軌的相互配合，對針頭進行限位，進而使得針頭的走向可控制，探針包括套管和針頭，且套管位于若干卡爪內側，套管的底部穿插設置有針頭，針頭的頂端且位于套管的內部設置有磁塊一，磁塊一兩側分別均設置有滑塊，針頭上且位于磁塊一與套管底部之間安裝有彈簧，套管內壁底部兩側均設置有與滑塊相配合的滑軌，套管內部固定連接有磁塊二，且磁塊二位于磁塊一上方。