[實用新型]一種透射式無指示光柵光學測量裝置有效
| 申請號: | 202020556948.6 | 申請日: | 2020-04-15 |
| 公開(公告)號: | CN211783310U | 公開(公告)日: | 2020-10-27 |
| 發明(設計)人: | 甘天才 | 申請(專利權)人: | 廣東光柵數顯技術有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/00 | 分類號: | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司: | 廣東騰銳律師事務所 44473 | 代理人: | 陳培華;莫錫斌 |
| 地址: | 523000 廣東省東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 透射 指示 光柵 光學 測量 裝置 | ||
1.一種透射式無指示光柵光學測量裝置,包括光源、主光柵和接收器,其特征在于:
主光柵和接收器依次設置在光源的直線光路上,所述主光柵上至少有3N+1根平行間隔排列的矩形光柵刻線,所述接收器上設有用于光電信號轉換的硅光晶片,所述硅光晶片上設有4M+1塊平行間隔排列的矩形光刻柵片;
所述光柵刻線的寬度、相鄰兩光柵刻線的柵距、光刻柵片的寬度均為W,相鄰兩光刻柵片的柵距為W/2,N、M均為自然數。
2.根據權利要求1所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:所述光刻柵片光電轉換的信號為相位依次相差90°的4路正弦信號。
3.根據權利要求2所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:N、M為相等或不等的自然數。
4.根據權利要求2所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:M為小于N的自然數。
5.根據權利要求3或4所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:M為大于或等于2的自然數時,相隔三塊光刻柵片的兩光刻柵片彼此電信號并聯。
6.根據權利要求5所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:W為2-300μm。
7.根據權利要求6所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:W為4、10、20、50、200μm。
8.根據權利要求7所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:所述光源為平行光LED燈或點光源與聚光鏡的組合。
9.根據權利要求8所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:所述接收器上包括PCB板,所述硅光晶片封裝在PCB板上。
10.根據權利要求9所述的透射式無指示光柵光學測量裝置,其特征在于:主光柵的平行透射光線垂直或傾斜照射到光刻柵片上。
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