[實用新型]一種鉆石環(huán)上的加壓裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020554270.8
• 申請日: 2020-04-14
• 公開（公告）號: CN211992483U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱文獻
• 申請（專利權(quán)）人: 昂士特科技（深圳）有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B41/00
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 譚雪婷;梁炎芳

本實用新型公開了一種鉆石環(huán)上的加壓裝置，轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有拋光墊，鉆石環(huán)設(shè)置在拋光墊上，鉆石環(huán)內(nèi)依次堆疊有若干砝碼，加壓裝置包括懸掛支架、螺桿和四滑槽，懸掛支架為兩個倒U型支架交叉設(shè)置而成，兩倒U型支架的交叉連接處開設(shè)有用于螺桿穿設(shè)的通孔，四滑槽對稱且可拆卸地設(shè)置在鉆石環(huán)上，兩倒U型支架的端部均可上下滑動地設(shè)置在四滑槽上，每一滑槽內(nèi)還設(shè)置有用于限位懸掛支架的限位件，若干砝碼對應(yīng)通孔的位置均開設(shè)有螺紋孔，螺紋孔與螺桿適配，螺桿還設(shè)置有螺帽，螺帽與懸掛支架的上表面抵接。本實用新型技術(shù)方案簡單實用，可節(jié)省使用者成本去改用鉆石蝶并安裝加壓調(diào)壓裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及化學(xué)機械拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種鉆石環(huán)上的加壓裝置。

背景技術(shù)

化學(xué)機械平坦化/拋光技術(shù)和工藝被越來越多地應(yīng)用于電子芯片生產(chǎn)。它可以從氧化硅、多晶硅、阻擴散層和金屬等表面去除形貌并達到極高要求的平坦化，為其后續(xù)的光刻步驟作好準(zhǔn)備，避免感光層照明期間的深度聚焦問題，它是集成電路制造中最有效的平坦化步驟。此外，這項技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于其它領(lǐng)域和材料，如第三代半導(dǎo)體基底SiC、光學(xué)藍寶石和玻璃等、密封和裝飾用金屬合金和陶瓷等。總之，CMP是一種應(yīng)用非常廣泛的表面處理工藝技術(shù)。隨著越來越高的對工藝表現(xiàn)提高和成本降低的需求，各種研究開發(fā)工作在不斷地進行，因此小型靈活又低成本的CMP機臺在實驗室大受歡迎，為CMP材料、設(shè)備和工藝進入工業(yè)生產(chǎn)提供重要的模擬、預(yù)研數(shù)據(jù)和指導(dǎo)。但相比中大型設(shè)備，因受成本和空間限制很多這種小型CMP實驗設(shè)備采用鉆石環(huán)來修整拋光墊，而對鉆石環(huán)沒有加壓調(diào)壓裝置，這使拋光墊的修整能力和使用壽命受到限制。

實用新型內(nèi)容

為解決這個問題，本實用新型的提出一種鉆石環(huán)上的加壓裝置，鉆石環(huán)上安裝一懸掛支架，懸掛支架上的螺桿旋轉(zhuǎn)時可以掛起一個或多個加重砝碼，優(yōu)化對拋光墊的修整復(fù)原效果。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出的一種鉆石環(huán)上的加壓裝置，用于拋光設(shè)備上的鉆石環(huán)加壓，所述拋光設(shè)備包括工作臺，所述工作臺開設(shè)有避位孔，所述避位孔內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有拋光墊，所述鉆石環(huán)設(shè)置在所述拋光墊上，所述鉆石環(huán)內(nèi)依次堆疊有若干砝碼，所述加壓裝置包括懸掛支架、螺桿和四滑槽，所述懸掛支架為兩個倒U型支架交叉設(shè)置而成，兩所述倒U型支架的交叉連接處開設(shè)有用于所述螺桿穿設(shè)的通孔，四所述滑槽對稱且可拆卸地設(shè)置在所述鉆石環(huán)上，兩所述倒U型支架的端部均可上下滑動地設(shè)置在四所述滑槽上，每一所述滑槽內(nèi)還設(shè)置有用于限位所述懸掛支架的限位件，若干所述砝碼對應(yīng)所述通孔的位置均開設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔與所述螺桿適配，所述螺桿還設(shè)置有螺帽，所述螺帽與所述懸掛支架的上表面抵接。

優(yōu)選地，所述限位件為螺栓，每一所述滑槽底面開設(shè)有若干與所述螺栓適配的孔柱，所述懸掛支架的端部均開設(shè)有若干通孔。

優(yōu)選地，所述滑槽底部設(shè)置有固定軸，所述鉆石環(huán)上對應(yīng)地設(shè)置有與所述固定軸適配的限位孔，每一所述固定軸對應(yīng)地插設(shè)在一所述限位孔內(nèi)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提出一種鉆石環(huán)上的加壓裝置，鉆石環(huán)上安裝一懸掛支架，懸掛支架上的螺桿旋轉(zhuǎn)時可以掛起一個或多個加重砝碼，優(yōu)化對拋光墊的修整復(fù)原效果；設(shè)計簡單，對新的CMP機器只有微小的成本增加，對現(xiàn)有鉆石環(huán)的改造也非常容易，可節(jié)省使用者成本去改用鉆石蝶并安裝加壓調(diào)壓裝置。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型中懸掛支架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型中滑槽的結(jié)構(gòu)示意圖；