[實(shí)用新型]一種晶圓定位機(jī)械手臂

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020553205.3
• 申請(qǐng)日: 2020-04-15
• 公開（公告）號(hào): CN211788961U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐超;林堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泓滸（昆山）半導(dǎo)體光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/68
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 林波

1.一種晶圓定位機(jī)械手臂，包括頂部支撐板(1)、第一皮帶輪(2)、電線管(3)和殼體(9)，其特征在于：所述殼體(9)的頂端固定連接有蓋體(16)，所述蓋體(16)與殼體(9)之間設(shè)置有安裝結(jié)構(gòu)(17)，所述蓋體(16)的頂端活動(dòng)連接有轉(zhuǎn)盤(12)，且轉(zhuǎn)盤(12)的中間位置處設(shè)置有內(nèi)螺紋(14)，所述內(nèi)螺紋(14)的內(nèi)部活動(dòng)連接有電線管(3)，且電線管(3)的頂端固定連接有頂部支撐板(1)，所述電線管(3)的底端固定連接有底部支撐板(10)，且底部支撐板(10)的一端固定連接有第二伺服電機(jī)(15)，所述第二伺服電機(jī)(15)底端與電線管(3)底端的外側(cè)固定連接有第二皮帶輪(5)，所述底部支撐板(10)的底端固定連接有轉(zhuǎn)軸(11)，且轉(zhuǎn)軸(11)的底端固定連接有伸縮桿(6)，所述伸縮桿(6)的底端與殼體(9)內(nèi)部的底端固定連接，所述殼體(9)內(nèi)部一側(cè)的頂端固定連接有第一伺服電機(jī)(8)，且第一伺服電機(jī)(8)頂端與轉(zhuǎn)盤(12)頂端的外側(cè)固定連接有第一皮帶輪(2)，所述蓋體(16)頂部一側(cè)的一端設(shè)置有緊固結(jié)構(gòu)(13)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位機(jī)械手臂，其特征在于：所述電線管(3)的外側(cè)設(shè)置有外螺紋(4)，所述外螺紋(4)與內(nèi)螺紋(14)之間構(gòu)成螺紋連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位機(jī)械手臂，其特征在于：所述電線管(3)的一端與兩側(cè)均固定連接有滑竿(7)，所述滑竿(7)關(guān)于電線管(3)的垂直中心線對(duì)稱分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位機(jī)械手臂，其特征在于：所述緊固結(jié)構(gòu)(13)的內(nèi)部依次設(shè)置有牽引線(1301)、固定塊(1302)、滑槽(1303)和控制閥(1304)，所述控制閥(1304)固定連接在蓋體(16)頂部一側(cè)的一端，所述控制閥(1304)的兩端均固定連接有牽引線(1301)，且牽引線(1301)的一端固定連接有固定塊(1302)，所述固定塊(1302)的內(nèi)部設(shè)置有滑槽(1303)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位機(jī)械手臂，其特征在于：所述安裝結(jié)構(gòu)(17)的內(nèi)部依次設(shè)置有卡槽(1701)、卡塊(1702)、固定螺栓(1703)和密封墊(1704)，所述卡槽(1701)設(shè)置在殼體(9)的頂端，所述卡槽(1701)的頂端固定連接有密封墊(1704)，所述卡槽(1701)的頂端固定連接有卡塊(1702)，所述卡塊(1702)的頂端與蓋體(16)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓定位機(jī)械手臂，其特征在于：所述卡槽(1701)與卡塊(1702)之間均勻固定連接有固定螺栓(1703)，所述固定螺栓(1703)在殼體(9)上呈等間距排列。