[實用新型]一種多工位晶圓承載盤有效
| 申請號： | 202020541454.0 | 申請日： | 2020-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN212476950U | 公開（公告）日： | 2021-02-05 |
| 發明（設計）人： | 宣榮衛;呂俊 | 申請（專利權）人： | 艾華（無錫）半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/12 | 分類號： | C30B25/12;C23C16/458;H01L21/673;H01L21/687 |
| 代理公司： | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 劉剛 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多工位晶圓 承載 | ||
1.一種多工位晶圓承載盤，包括固定盤(3)，其特征在于：所述固定盤(3)內側頂端設置有固定軸(2)，且所述固定軸(2)與所述固定盤(3)固定連接，所述固定軸(2)內側設置有承載盤本體(4)，且所述承載盤本體(4)與所述固定軸(2)轉動連接，所述承載盤本體(4)頂端設置有固定工位(1)，且所述固定工位(1)與所述承載盤本體(4)固定連接，所述承載盤本體(4)外側設置有伸縮彈簧(5)，且所述伸縮彈簧(5)與所述承載盤本體(4)固定連接，所述固定工位(1)內側開設有第一滑槽(6)，所述第一滑槽(6)上表面設置有固定塊(7)，且所述固定塊(7)與所述第一滑槽(6)滑動連接，所述固定盤(3)內側底端設置有安裝環(10)，且所述安裝環(10)與所述固定盤(3)滑動連接，所述安裝環(10)外側設置有滑塊(8)，且所述滑塊(8)與所述安裝環(10)固定連接，所述安裝環(10)內側貫穿設置有固定螺釘(9)，且所述固定螺釘(9)與所述安裝環(10)固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種多工位晶圓承載盤，其特征在于：所述固定盤(3)的高度大于所述承載盤本體(4)的半徑，所述承載盤本體(4)與所述固定盤(3)通過所述固定軸(2)轉動連接。
3.根據權利要求1所述的一種多工位晶圓承載盤，其特征在于：所述固定工位(1)的形狀為圓槽型，所述固定工位(1)設置有六個，六個所述固定工位(1)呈陣列的方式設置在所述承載盤本體(4)的頂端。
4.根據權利要求1所述的一種多工位晶圓承載盤，其特征在于：所述固定塊(7)設置有四個，所述固定塊(7)與所述固定工位(1)通過所述第一滑槽(6)滑動連接。
5.根據權利要求1所述的一種多工位晶圓承載盤，其特征在于：所述伸縮彈簧(5)設置有兩個，兩個所述伸縮彈簧(5)對稱的固定在所述承載盤本體(4)的前后兩端。
6.根據權利要求1所述的一種多工位晶圓承載盤，其特征在于：所述固定盤(3)內側開設有第二滑槽，且所述安裝環(10)與所述固定盤(3)通過所述滑塊(8)和所述第二滑槽滑動連接。
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