[實用新型]一種真空氣壓調節裝置有效
| 申請號： | 202020540442.6 | 申請日： | 2020-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN212616577U | 公開（公告）日： | 2021-02-26 |
| 發明（設計）人： | 宣榮衛;呂俊 | 申請（專利權）人： | 艾華（無錫）半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | F16K17/24 | 分類號： | F16K17/24;F16K51/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 劉剛 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 氣壓 調節 裝置 | ||
1.一種真空氣壓調節裝置，包括外腔室(6)，其特征在于：所述外腔室(6)內部設置有內腔室(3)，且所述內腔室(3)與所述外腔室(6)固定連接，所述內腔室(3)底端設置有有限聯通管(2)，且所述有限聯通管(2)與所述內腔室(3)固定連接，所述有限聯通管(2)內部設置有蓋板(1)，且所述蓋板(1)與所述有限聯通管(2)滑動連接，所述外腔室(6)一端設置有外腔室進氣口(5)，且所述外腔室進氣口(5)與所述外腔室(6)固定連接，所述內腔室(3)一端設置有內腔室進氣口(4)，且所述內腔室進氣口(4)與所述內腔室(3)固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種真空氣壓調節裝置，其特征在于：所述有限聯通管(2)為有底管狀結構，和所述內腔室(3)直接相連，所述有限聯通管(2)底部部分鏤空，鏤空部分和所述外腔室(6)相連。
3.根據權利要求1所述的一種真空氣壓調節裝置，其特征在于：所述有限聯通管(2)的材質為鋼材，且該鋼材為不銹鋼。
4.根據權利要求1所述的一種真空氣壓調節裝置，其特征在于：所述蓋板(1)為圓形薄板，所述蓋板(1)的材質選用金屬，且該金屬為不銹鋼或鋁。
5.根據權利要求1所述的一種真空氣壓調節裝置，其特征在于：所述蓋板(1)狀態和所述內腔室(3)和所述外腔室(6)的壓差，所述有限聯通管(2)的鏤空面積與所述外腔室(6)的重量有關。
6.根據權利要求1所述的一種真空氣壓調節裝置，其特征在于：所述蓋板(1)受力平衡時，有公式為P*S＝mg，其中P是內外腔室壓差，S是所述有限聯通管(2)的鏤空面積，m是所述蓋板(1)的質量，g是重力常數。
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