[實用新型]一種脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020510033.1
• 申請日: 2020-04-09
• 公開（公告）號: CN212217453U
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設計）人: 溫秋玲;王華祿;張鵬程;徐西鵬;陸靜;姜峰;黃輝
• 申請（專利權）人: 華僑大學
• 主分類號: B23K26/352
• 分類號: B23K26/352
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 張松亭;張迪

1.一種脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置，其特征在于，脆性材料基底的上表面鍍有金屬薄膜，所述金屬薄膜的上面鋪設單層致密排布的微球，所述脆性材料基底置于一工作臺上；

激光器、擴束鏡、光束整型器沿水平方向依次設置，掃描振鏡、聚光透鏡集工作臺沿豎直方向從上至下依次設置；

激光器產生的激光依次通過擴束鏡、光束整型器后經由反射鏡反射到達掃描振鏡以及聚焦透鏡，再輻照到鋪設有微球的鍍有金屬薄膜的脆性材料基底的上表面；計算機連接所述激光器及掃描振鏡，所述計算機控制激光器產生的激光束的脈沖能量和重復頻率。

2.根據權利要求1所述的脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置，其特征在于，所述的光束整型器的將能量呈高斯分布的激光束轉換成能量均勻分布的激光束。

3.根據權利要求1所述的脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置，其特征在于，所述計算機控制掃描振鏡的運動，以控制作用在脆性材料基底上的激光束在xy平面內移動軌跡和掃描速度。

4.根據權利要求1所述的脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置，其特征在于，所述脆性材料基底為非金屬材料，具體為玻璃、藍寶石、碳化硅、硅、砷化鎵、氮化鎵、金剛石、陶瓷和激光晶體材料的其中之一。

5.根據權利要求1所述的脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置，其特征在于，所述金屬薄膜的材料為金、銀、銅、鋁、鉑、鈦其中之一或其合金，且所述金屬薄膜的厚度介于10納米至200納米之間。

6.根據權利要求5所述的脆性材料表面納米孔陣列的加工裝置，其特征在于，所述金屬薄膜是由一層同種金屬材料或一層金屬合金材料或多層不同金屬材料組成。