[實用新型]一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構

有效

• 申請號: 202020484870.1
• 申請日: 2020-04-07
• 公開（公告）號: CN211743099U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 汪鵬;徐建衛;徐艷
• 申請（專利權）人: 上海矽安光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L23/544
• 代理公司: 合肥方舟知識產權代理事務所(普通合伙) 34158
• 代理人: 劉躍

1.一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構，包括：單晶硅寸底(1)以及若干個濕法腐蝕凹槽(2)，其特征在于，若干個所述濕法腐蝕凹槽(2)開設在單晶硅寸底(1)上，所述濕法腐蝕凹槽(2)頂面為矩形，濕法腐蝕凹槽(2)與濕法腐蝕凹槽(2)的錯位距離設置為1um，2um，3um……,(n-1)um，錯位間距為所要監控的濕法腐蝕凹槽(2)開口寬度的實際偏差。

2.根據權利要求1所述的一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構，其特征在于，所述單晶硅寸底(1)的腐蝕面為100晶面。

3.根據權利要求1所述的一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構，其特征在于，所述濕法腐蝕凹槽(2)數量為n個，n≥3。

4.根據權利要求1所述的一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構，其特征在于，n個所述濕法腐蝕凹槽(2)的錯位間距分別為1um，2um，3um…(n-1)um。

5.根據權利要求1所述的一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構，其特征在于，n個所述濕法腐蝕凹槽(2)按照錯位間距由小到大依次遞增的順序排列。

6.根據權利要求1所述的一種硅濕法腐蝕槽大尺寸開口寬度的監控結構，其特征在于，n個所述濕法腐蝕凹槽(2)相互緊密排列。