[實用新型]一種雙面自動對位曝光的設備

有效

• 申請號: 202020483893.0
• 申請日: 2020-04-03
• 公開（公告）號: CN211506169U
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 戴童慶;代毓平
• 申請（專利權）人: 深圳市大川光電設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

1.一種雙面自動對位曝光的設備，其特征在于，所述設備包括工件上下料區與工件曝光區，所述工件上下料區設置有一下曬框組件，所述曝光區設置有上下相對設置的上曬框組件與另一下曬框組件，所述上曬框組件包括上曬框與驅動所述上曬框進行平移調整對位的上對位機構，所述下曬框組件包括下曬框、設于所述下曬框上的工件定位銷以及驅動所述工件定位銷進行平移調整對位的下對位機構，所述曝光區還設置有驅動所述上曬框組件升降的升降動力機構、位于所述上曬框組件上方的上對位CCD視覺組件以及位于所述下曬框組件下方的下對位CCD視覺組件，所述工件上下料區與所述工件曝光區之間還設置有驅動兩所述下曬框組件之間進行交替換位的下曬框動力組件。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述上曬框包括上曬框玻璃、環繞固定所述上曬框玻璃的上曬框邊框以及對所述上曬框玻璃的下表面進行抽真空處理的若干第一真空氣嘴，所述若干第一真空氣嘴固設在所述上曬框玻璃上，所述下曬框包括下曬框玻璃、環繞固定所述下曬框玻璃的下曬框邊框以及對所述下曬框玻璃的上表面進行抽真空處理的若干第二真空氣嘴，所述若干第二真空氣嘴固設在所述下曬框玻璃上。

3.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述工件上下料區還設置有用于將待曝光工件由上一工位轉移到所述下曬框組件上的上料機械手以及用于將已曝光工件由所述下曬框組件上轉移到下一工位的下料機械手；所述上料機械手包括上料吸附抓手、驅動所述上料吸附抓手升降的上料升降機構以及驅動所述上料吸附抓手在所述上一工位與所述下曬框組件之間平移的上料平移機構；所述下料機械手包括下料吸附抓手、驅動所述下料吸附抓手升降的下料升降動力電機以及驅動所述下料吸附抓手在所述下曬框組件與所述下一工位之間平移的下料平移機構。

4.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述工件上下料區與所述工件曝光區之間的相接處上方設置有下菲林清潔滾筒，以對所述下曬框組件上的下菲林進行滾涂清潔。

5.如權利要求2所述的設備，其特征在于，一所述下曬框組件的所述下曬框邊框的一側還設置有上菲林清潔滾筒，以對所述上曬框組件上的上菲林進行滾涂清潔。

6.一種雙面自動對位曝光的設備，其特征在于，所述設備包括工件上下料區與工件曝光區，所述工件上下料區設置有一下曬框組件，所述曝光區設置有上下相對設置的上曬框組件與另一下曬框組件，所述上曬框組件包括上曬框與驅動所述上曬框進行平移調整對位的上對位機構，所述下曬框組件包括下曬框以及設于所述下曬框上的工件定位銷，所述工件上下料區還設置有用于將待曝光工件由上一工位準確轉移到所述下曬框組件上的帶下對位CCD視覺組件的上料機械手，所述曝光區還設置有驅動所述上曬框組件升降的升降動力機構以及位于所述上曬框組件上方的上對位CCD視覺組件，所述工件上下料區與所述工件曝光區之間還設置有驅動兩所述下曬框組件之間進行交替換位的下曬框動力組件。

7.如權利要求6所述的設備，其特征在于，所述上曬框包括上曬框玻璃、環繞固定所述上曬框玻璃的上曬框邊框以及對所述上曬框玻璃的下表面進行抽真空處理的若干第一真空氣嘴，所述若干第一真空氣嘴固設在所述上曬框玻璃上，所述下曬框包括下曬框玻璃、環繞固定所述下曬框玻璃的下曬框邊框以及對所述下曬框玻璃的上表面進行抽真空處理的若干第二真空氣嘴，所述若干第二真空氣嘴固設在所述下曬框玻璃上。

8.如權利要求6所述的設備，其特征在于，所述工件上下料區還設置有用于將已曝光工件由所述下曬框組件上轉移到下一工位的下料機械手；所述上料機械手還包括上料吸附抓手、驅動所述上料吸附抓手與所述下對位CCD視覺組件一起升降的上料升降機構以及驅動所述上料吸附抓手與所述下對位CCD視覺組件一起在所述上一工位與所述下曬框組件之間平移的上料平移機構；所述下料機械手包括下料吸附抓手、驅動所述下料吸附抓手升降的下料升降動力電機以及驅動所述下料吸附抓手在所述下曬框組件與所述下一工位之間平移的下料平移機構。