[實用新型]一種硅片加工用超聲波清洗機

有效

• 申請號: 202020482016.1
• 申請日: 2020-04-06
• 公開（公告）號: CN210966164U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 趙亮;張昱博;張帥
• 申請（專利權）人: 曲靖陽光能源硅材料有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;F26B23/06
• 代理公司: 長沙睿翔專利代理事務所(普通合伙) 43237
• 代理人: 周松華;孫建霞

1.一種硅片加工用超聲波清洗機，包括超聲波清洗機(1)，其特征在于，該超聲波清洗機(1)上設置有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的底端設置有承接板(3)，該承接板(3)的上端面向下延伸設置有定位孔(4)，定位孔(4)上可拆卸地設置有硅片放置組件，所述硅片放置組件包括石英壺(5)和放置架(6)，放置架(6)放置于石英壺(5)內，該放置架(6)上端面向下延伸設置有卡槽(7)，所述石英壺(5)的下端面設置有定位桿(8)，該定位桿(8)可拆卸地安裝在定位孔(4)中，所述超聲波清洗機(1)上還設置有烘干槽(9)，該烘干槽(9)設置在清洗槽(2)的一側，所述烘干槽(9)的底端設置有與定位桿(8)相對應的緊固槽(10)，所述烘干槽(9)的內壁上設置有加熱器(11)。

2.根據權利要求1所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述承接板(3)的側壁上設置有固定孔(12)，該固定孔(12)與定位孔(4)通透設置，定位桿(8)上設置有與固定孔(12)相對應的螺紋孔(13)。

3.根據權利要求2所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述定位桿(8)和定位孔(4)分別相互對應的設置有多個。

4.根據權利要求1所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述清洗槽(2)和烘干槽(9)的頂端分別設置有蓋板，蓋板與超聲波清洗機(1)連接。

5.根據權利要求1所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述超聲波清洗機(1)的底端設置有支撐桿(14)、支撐板(15)和萬向滾輪(16)，支撐桿(14)一端與超聲波清洗機(1)的底端連接，另一端與支撐板(15)連接，萬向滾輪(16)與支撐板(15)的下端面連接。

6.根據權利要求5所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述支撐板(15)上設置有穩固組件，該穩固組件包括旋轉桿(17)和穩固塊(18)，旋轉桿(17)穿過支撐板(15)且底端與穩固塊(18)連接。

7.根據權利要求6所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述旋轉桿(17)與支撐板(15)螺紋連接。

8.根據權利要求1所述的硅片加工用超聲波清洗機，其特征在于：所述超聲波清洗機(1)上設置有進水口和排水口，其分別與清洗槽(2)連通設置，進水口的位置高于排水口的位置。