[實用新型]一種用于降壓與隔離氣體的氣體管路

有效

• 申請號: 202020463073.5
• 申請日: 2020-04-02
• 公開（公告）號: CN211696834U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 甘萬;楊欣;江福榮
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: G01M3/22
• 分類號: G01M3/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于降壓與隔離氣體的氣體管路，包括：進氣口、球閥、調壓閥、壓力表、出氣口和本體，進氣口與本體左端連接，出氣口與本體右端連接，球閥與本體上端左側連接，調壓閥與本體上端中間連接，壓力表與本體上端右側連接。其中，調壓閥包括：標蓋、螺絲、調壓旋鈕、調壓絲桿、上蓋、彈簧鈕、調壓彈簧、膜片平板、壓塊、膜片、密封片、噴嘴結構和承座墊。本實用新型與傳統技術相比，通過將球閥和調壓閥的閥體做成一體式結構，然后將安裝球閥和調壓閥的配件都安裝在其上，實現將球閥及調壓閥做成一體，既可以滿足流體使用要求，也可以節省設備占用空間，同時在調壓閥組進出口配有螺紋接口，安裝方便。

技術領域

本實用新型涉及氣體輸送設備上流體控制的技術領域，具體涉及一種用于降壓與隔離氣體的氣體管路。

背景技術

由于全球電子、光伏產業的蓬勃發展，及我國政府大力提倡科技興國，國內半導體、光伏制造業發展迅猛。據2006年中國半導體產業研究報告指出：“2006年底，中國國內有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內半導體產業產值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC設計215億元。中國國內半導體市場的規模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上。”光伏產業在近兩年快速發展，是未來新能源產業的主力軍。

而在半導體、光伏相關產業常用的制程中需要使用到許多特殊氣體，其中一些具有毒性、腐蝕性、可燃性的氣體，一旦這些氣體的供應系統發生閥件損壞時，其危害性相當高，甚至可能威脅到人員生命安全、設備損失及生產中斷，其危害性是讓我們必須特別重視且不可小看的。其中氣體鋼瓶在半導體產業中的使用非常廣泛。在半導體產業發展的初期曾發生不少的事故。數據顯示，因錯誤拆卸鋼瓶接頭而造成爆炸、人員傷亡、事業單位財產損失以及環境污染等問題，而造成意外事故的主要原因為人為失誤。這一安全問題已經成為提高氣體輸送設備安全防控的重要環節。國內半導體廠都采用各種管理及危害分析方法對風險進行適當的控制，但在人員手動拆卸的情況下，仍然無法完全避免風險。

調壓閥組主要用在半導體、光伏產業中為工藝機臺連續配送工藝氣體的設備上，滿足工藝機臺對流體壓力的使用要求。因根據工藝不同，各個機臺對流體的使用要求也不一樣。則調壓閥組需要滿足當流體達到一定流量時及流量變化時，輸出恒定的壓力。

在目前的特氣輸送設備上，要滿足工藝機臺的流量和壓力要求，都是在工藝管道上同時安裝球閥及調壓閥，這樣不僅在工藝管道上增加接口，這樣就增加了流體的泄漏風險。而且在半導體、光伏產業中，設備需盡可能的節省空間。若同時安裝球閥和調壓閥，所占用的空間較大，與行業需求不符。

為了解決上述問題，我們做出了一系列改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種用于降壓與隔離氣體的氣體管路，以克服現有技術所存在的上述缺點和不足。

一種用于降壓與隔離氣體的氣體管路，包括：進氣口、球閥、調壓閥、壓力表、出氣口和本體，所述進氣口與本體左端連接，所述出氣口與本體右端連接，所述球閥與本體上端左側連接，所述調壓閥與本體上端中間連接，所述壓力表與本體上端右側連接；

其中，所述調壓閥包括：標蓋、螺絲、調壓旋鈕、調壓絲桿、上蓋、彈簧鈕、調壓彈簧、膜片平板、壓塊、膜片、密封片、噴嘴結構和承座墊，所述標蓋與調壓旋鈕頂部連接，所述調壓旋鈕通過螺絲與調壓絲桿連接，所述調壓絲桿與上蓋頂部連接，所述彈簧鈕與調壓彈簧頂部連接，所述調壓彈簧通過彈簧鈕與上蓋內部連接，所述調壓彈簧底部與膜片平板連接，所述膜片平版下端與壓塊連接，所述壓塊下端與膜片連接，所述膜片下端與密封片連接，所述密封片下端與噴嘴結構連接，所述承座墊與噴嘴結構底部連接。

進一步，所述噴嘴結構包括：噴嘴、閥片、閥桿、閥桿彈簧和摩擦墊圈，所述閥桿與噴嘴下端連接，所述閥片穿過閥桿與噴嘴連接，所述閥桿彈簧與閥桿下端連接，所述摩擦墊圈與閥桿彈簧下端連接。