[實用新型]一種基于HEMT氣體傳感器的氣體檢測裝置有效
| 申請號： | 202020461884.1 | 申請日： | 2020-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN211785287U | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 孫海定;邢寵;許磊;張昊宸;宋康;楊磊;謝東成;劉睿晨;薛峰 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;H01L29/778 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 hemt 氣體 傳感器 檢測 裝置 | ||
1.一種基于HEMT氣體傳感器的氣體檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：
依次連接的待測氣體罐(100)、氣體檢測腔室(200)、尾氣處理腔室(300)；以及與所述氣體檢測腔室(200)連接的測量電路；
其中，所述氣體檢測腔室(200)包括AlGaN/GaN基HEMT氣體傳感器(201)，以及設置于所述氣體傳感器上方的紫外光束發射器件(202)。
2.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氣體傳感器(201)包括：
藍寶石襯底(1)；
依次形成于所述藍寶石襯底(1)上的氮化鎵外延層(2)、鋁鎵氮外延層(3)和帽層(4)；其中，所述氮化鎵外延層(2)與所述鋁鎵氮外延層(3)交界面形成鋁鎵氮/氮化鎵異質結界面；
形成于所述帽層(4)和所述氮化鎵外延層(2)上的源極(5)和漏極(6)；
形成在所述帽層(4)上的柵極(7)；其中，所述源極(5)、漏極(6)和柵極(7)互不連接；
第一電路(8)，導線連接所述源極(5)和漏極(6)。
3.根據權利要求2所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氮化鎵外延層(2)的厚度為0.1-100μm；所述鋁鎵氮外延層(3)的厚度為0.5-100nm。
4.根據權利要求2所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述柵極(7)區域為氣體感應區域。
5.根據權利要求2所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述紫外光束發射器件(202)所發出的紫外光束覆蓋所述氣體傳感器(201)的帽層(4)。
6.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述紫外光束發射器件(202)為紫外光源，所述紫外光源的波長小于360nm。
7.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述測量電路包括：
串聯的氣體傳感器(201)、數字源表(400)、和計算機終端(500)。
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