[實(shí)用新型]一種高純硅烷灌裝設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020461350.9
• 申請(qǐng)日: 2020-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN212005161U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 祁衛(wèi)華;王丹丹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州嘉杰流體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F17C5/02
• 分類號(hào): F17C5/02;F17C13/02
• 代理公司: 蘇州國(guó)卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32331
• 代理人: 黃少波

1.一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：包括

基座(1)；

集氣箱(2)，可固定安裝在所述基座(1)的頂端左側(cè)；

底座(3)，可固定安裝在所述基座(1)的頂端中心位置；

殼體(4)，可固定安裝在所述基座(1)的頂端右側(cè)；

罐體(5)，可放置在所述底座(3)的頂端；

還包括固定機(jī)構(gòu)(6)、連接機(jī)構(gòu)(7)和除雜機(jī)構(gòu)(8)，所述固定機(jī)構(gòu)(6)裝配在所述底座(3)的一側(cè)，所述連接機(jī)構(gòu)(7)裝配在所述殼體(4)與所述罐體(5)的一側(cè)，所述除雜機(jī)構(gòu)(8)裝配在所述集氣箱(2)與所述罐體(5)的一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：所述固定機(jī)構(gòu)(6)包括轉(zhuǎn)桿(61)，所述轉(zhuǎn)桿(61)通過軸承安裝在所述底座(3)的內(nèi)腔，所述軸承的內(nèi)環(huán)與所述底座(3)的內(nèi)腔過盈配合，且軸承的外環(huán)與轉(zhuǎn)桿(61)的前后兩端固定連接，所述轉(zhuǎn)桿(61)的外壁前后兩側(cè)均螺紋連接有連接板(62)，所述連接板(62)的頂端延伸出所述底座(3)上表面開設(shè)的滑軌，所述連接板(62)的內(nèi)側(cè)上下兩端均安裝有夾板(63)，所述轉(zhuǎn)桿(61)的外壁中心位置過盈配合有第一錐形齒輪(64)，所述底座(3)的內(nèi)腔右側(cè)螺釘連接有電機(jī)(65)，所述電機(jī)(65)的左側(cè)輸出端通過聯(lián)軸器鎖緊有與第一錐形齒輪(64)相嚙合的第二錐形齒輪(66)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：所述第一錐形齒輪(64)與第二錐形齒輪(66)之間相匹配且位置相對(duì)應(yīng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：所述連接機(jī)構(gòu)(7)包括電動(dòng)推桿(71)，所述電動(dòng)推桿(71)的底端螺釘連接在所述殼體(4)的內(nèi)腔底端，所述電動(dòng)推桿(71)的頂端安裝有支撐板(72)，所述支撐板(72)的左側(cè)延伸出所述殼體(4)左端面開設(shè)的滑軌且安裝有連接座(73)，所述連接座(73)的底端安裝有連接管(74)，所述連接管(74)的底端設(shè)置有第一連接頭(75)，所述第一連接頭(75)的底端圓周安裝有第一密封圈(76)，所述罐體(5)的進(jìn)氣管外壁圓周安裝有第二密封圈(77)，所述連接管(74)的外壁螺紋連接有套筒(78)，所述套筒(78)的內(nèi)壁螺紋連接在第一連接頭(75)與所述罐體(5)的進(jìn)氣管外壁上，所述套筒(78)的內(nèi)腔圓周開設(shè)有通孔(79)，所述套筒(78)的頂端螺釘連接有硅烷報(bào)警器(710)，所述連接座(73)的頂端安裝有進(jìn)氣軟管(711)的一端，且進(jìn)氣軟管(711)的另一端連接在外接進(jìn)氣裝置上固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：所述進(jìn)氣軟管(711)、連接座(73)、連接管(74)和第一連接頭(75)的內(nèi)腔呈相通設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：所述通孔(79)的位置與第一連接頭(75)和所述罐體(5)的進(jìn)氣管連接處相對(duì)應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純硅烷灌裝設(shè)備，其特征在于：所述除雜機(jī)構(gòu)(8)包括連接軟管(81)，所述連接軟管(81)的一端安裝在所述集氣箱(2)的頂端，所述連接軟管(81)的另一端安裝有第二連接頭(82)，所述第二連接頭(82)螺紋連接在所述罐體(5)頂端設(shè)置出氣管的外壁上，所述第二連接頭(82)的頂端安裝有氣流計(jì)量器(83)，所述罐體(5)頂端設(shè)置出氣管的外壁和連接軟管(81)的外壁分別安裝有第一電磁閥(84)和第二電磁閥(85)。