[實(shí)用新型]一種深腔鍵合劈刀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020459853.2
• 申請日: 2020-04-01
• 公開（公告）號: CN211879331U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張旭;劉星宇
• 申請（專利權(quán)）人: 成都冶恒電子有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60
• 代理公司: 成都厚為專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51255
• 代理人: 劉賢科

本實(shí)用新型公開了一種適用于深腔芯片鍵合的深腔鍵合劈刀，涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，在刀柄內(nèi)部沿中心軸線加工有過線孔，刀柄的前端加工有刀頭，刀柄和刀頭一體成型；刀頭的端部加工有鍵合面、出線孔槽、引線通孔，鍵合面和出線孔槽位于刀頭端部的端面，引線通孔傾斜加工在刀頭端部內(nèi)，鍵合面與引線通孔間的夾角范圍為20度至75度，出線孔槽緊鄰引線通孔。本實(shí)用新型通過在刀柄內(nèi)部沿中心軸線加工有過線孔，在刀頭內(nèi)加工有引線通孔，線材通過過線孔和引線通孔可以使線材沿著設(shè)計的軌跡移動進(jìn)而避免與框架側(cè)壁的干涉影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種深腔鍵合劈刀。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體封裝內(nèi)部芯片和外部管腳之間的連接起著確立芯片和外部的電氣連接、確保芯片和外界之間的輸入/輸出暢通的重要作用，是整個后道封裝過程中的關(guān)鍵。引線鍵合以工藝實(shí)現(xiàn)簡單、成本低廉、適用多種封裝形式而在連接方式中占主導(dǎo)地位。引線鍵合是封裝中的主要互連技術(shù)之一。其他的技術(shù)還包括倒裝芯片、晶圓級封裝和硅通孔技術(shù)。引線鍵合是一種使用細(xì)金屬線，利用熱、壓力、超聲波能量為使金屬引線與基板焊盤緊密焊合，實(shí)現(xiàn)芯片與基板間的電氣互連和芯片間的信息互通。在理想控制條件下，引線和基板間會發(fā)生電子共享或原子的相互擴(kuò)散，從而使兩種金屬間實(shí)現(xiàn)原子量級上的鍵合。

其中，劈刀是引線鍵合過程中的重要工具,其結(jié)構(gòu)與性能決定了鍵合的靈活性、可靠性與經(jīng)濟(jì)性。然而，現(xiàn)有劈刀在鍵合過程中，因?yàn)橐€通孔與水平面呈一定角度，所以在鍵合時，為了保證鍵合的順暢性，會沿著引線通孔方向做一定的延伸。

申請?zhí)枮?01910957247.5，專利名稱為的一種焊接一體鍵合劈刀，其包括劈刀主體，所述劈刀主體內(nèi)部開設(shè)有引線腔，所述引線腔由上至下形成錐形，且在所述引線腔內(nèi)穿過引線絲，所述引線腔的上端纏繞第一電熱絲，在所述引線腔的下端纏繞有第二電熱絲，所述劈刀主體的中間連接臂部分開設(shè)有伸縮腔室，所述伸縮腔室內(nèi)分別設(shè)置有刀頭的連接臂，和刀頭的連接臂固定連接的簧片，以及和簧片末端連接的壓力傳感器，所述刀頭末端開設(shè)有焊線槽，所述焊線槽外端面設(shè)置有刀頭，所述壓力傳感器固定在伸縮腔室的內(nèi)壁上，所述刀頭的內(nèi)側(cè)安裝有防氧化保護(hù)裝置，所述刀頭的末端設(shè)置有所述引線腔的末端外壁設(shè)置有溫度傳感器。該專利結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，也不太適用于深腔芯片的鍵合。

現(xiàn)有的其它物理結(jié)構(gòu)的劈刀主要用于常規(guī)小功率芯片的鍵合，由于其引線通孔的結(jié)構(gòu)，易于框架的側(cè)壁的影響，導(dǎo)致現(xiàn)有的劈刀無法順利的完成深腔芯片如微波器件的鍵合。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種利用物理結(jié)構(gòu)特性完全可適用于深腔芯片鍵合的深腔鍵合劈刀。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種深腔鍵合劈刀，包括刀柄1，其特征在于，所述刀柄內(nèi)部沿中心軸線加工有過線孔2，所述刀柄的前端有刀頭3，刀柄和刀頭一體成型；刀頭3的端部加工有鍵合面3-1、出線孔槽3-2、引線通孔3-3，鍵合面和出線孔槽位于刀頭端部的端面，引線通孔傾斜加工在刀頭端部內(nèi)，鍵合面與引線通孔間的夾角范圍為20度-75度，出線孔槽3-2緊臨引線通孔3-3。

在本實(shí)用新型中，所述刀柄及刀頭均為硬質(zhì)合金或鈦合金或陶瓷材料。

在本實(shí)用新型中，所述刀柄的前端以過線孔為中心，過線孔的一側(cè)為刀柄的前端端面，沿過線孔的另一側(cè)垂直加工刀頭；所述出線孔槽縱向加工形成呈倒V字型溝槽，線材經(jīng)刀柄內(nèi)的過線孔穿入刀頭端部的引線通孔內(nèi)，再經(jīng)出線孔槽引入鍵合面鍵合。

在本實(shí)用新型中，所述刀柄的前端斜切加工形成刀頭；所述出線孔槽縱向加工形成呈倒V字型溝槽，線材經(jīng)刀柄內(nèi)的過線孔穿入刀頭端部的引線通孔內(nèi)，再經(jīng)出線孔槽引入鍵合面鍵合。

在本實(shí)用新型中，所述刀柄的前端斜切加工形成刀頭，刀頭端部端面由鍵合面和非鍵合面構(gòu)成，非鍵合面為斜直面，所述出線孔槽在非鍵合面內(nèi)橫向加工而成，出線孔槽兩側(cè)的面防止線材偏擺。