[實用新型]一種LCD靶材加熱平臺有效
| 申請號: | 202020459532.2 | 申請日: | 2020-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN212286382U | 公開(公告)日: | 2021-01-05 |
| 發明(設計)人: | 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;唐國天;張林 | 申請(專利權)人: | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號: | B23K37/00 | 分類號: | B23K37/00 |
| 代理公司: | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人: | 王巖 |
| 地址: | 230012 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 lcd 加熱 平臺 | ||
1.一種LCD靶材加熱平臺,包括平臺主體架,其特征在于,所述平臺主體架上沿長度方向設置有相互獨立地至少三組加熱裝置,每組所述加熱裝置包括溫控組件和加熱組件,所述加熱組件設置于所述溫控組件的上方,所述溫控組件與所述加熱組件電連接。
2.根據權利要求1所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述加熱組件包括加熱板和加熱管,所述加熱板上設置有加熱管孔,所述加熱管設置于所述加熱管孔內;
所述溫控組件包括控溫器,所述控溫器與所述加熱管電連接。
3.根據權利要求2所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述加熱板沿厚度方向設置有若干插孔,所述插孔內設置有熱電偶,所述熱電偶與所述控溫器電連接。
4.根據權利要求2所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述加熱板通過支撐柱固定于所述平臺主體架上。
5.根據權利要求4所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述加熱板與所述支撐柱之間填充有隔熱棉。
6.根據權利要求5所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述隔熱棉的厚度為5~10cm。
7.根據權利要求2所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述加熱板上還設置有吊裝螺絲孔。
8.根據權利要求1所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述LCD靶材為G10.5、G11代線靶材。
9.根據權利要求2所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,所述控溫器的溫度控制方式為PID控制方式。
10.根據權利要求4所述的LCD靶材加熱平臺,其特征在于,平臺主體架上沿長度方向設置有三組加熱裝置;
位于平臺主體架兩端部的兩組加熱裝置相同,每組加熱裝置中所述加熱管的個數為15~20根,支撐柱的個數為3個;
位于平臺主體架中部的一組加熱裝置,所述加熱管的個數為8~10根,支撐柱的個數為2個。
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