[實用新型]戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備

有效

• 申請號: 202020456437.7
• 申請日: 2020-04-01
• 公開（公告）號: CN213266683U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 成林
• 申請（專利權）人: 昆山浦元真空技術工程有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C03C17/00
• 代理公司: 昆山中際國創知識產權代理有限公司 32311
• 代理人: 尤天珍

1.一種戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：包括真空腔體(1)、真空泵(13)、磁控陰極、離子轟擊板(8)、工件定位裝置、充氣系統、冷卻系統和控制系統，所述真空泵能夠給真空腔體抽真空，真空腔體內的真空計能夠測量真空腔體內的真空度并傳信于控制系統，充氣系統能夠選擇的給真空腔體內充不同種類的氣體，工件定位裝置能夠固定定位于真空腔體內，工件(3)內側面可拆卸的安裝于工件定位裝置上，離子轟擊板固定安裝于真空腔體內，離子轟擊板能夠對工件外側表面進行等離子清洗，磁控陰極安裝于真空腔體內，磁控陰極恰能夠包覆于工件外側表面外部并與工件外側表面保持設定距離，磁控陰極能夠在工件表面濺射沉膜，冷卻系統能夠給磁控陰極和真空泵進行冷卻，控制系統控制真空泵、磁控陰極、離子轟擊板、充氣系統和冷卻系統運行。

2.根據權利要求1所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述磁控陰極包括第一磁控陰極靶(4)、第二磁控陰極靶(5)、陰極座(6)、轉角驅動裝置和進給驅動裝置，所述陰極座能夠沿工件長度方向運動，所述陰極座安裝于真空腔內，進給驅動裝置驅動陰極座運動，第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶分別鉸接于陰極座上，轉角驅動裝置驅動第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶同步相向或反向轉動，第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶之間能夠形成與工件任意截面處外形匹配的V形空間，工件恰能夠穿過該V形空間內部，控制系統控制進給驅動裝置和轉角驅動裝置運行。

3.根據權利要求2所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶分別為與工件兩側外形匹配的折彎板狀結構，第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶與陰極座同軸鉸接相連，轉角驅動裝置包括第一伺服電機(10)和傳動齒輪機構，第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶上分別設有嚙合齒輪，第一伺服電機通過傳動齒輪機構上不同轉向的齒輪與第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶上的嚙合齒輪嚙合傳動，實現第一磁控陰極靶和第二磁控陰極靶同步反向轉動，控制系統控制第一伺服電機啟停和轉向。

4.根據權利要求2所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述真空腔體內還設有沿工件長度方向延伸的陰極軌道，所述陰極軌道上設有陰極小車(7)，進給驅動裝置驅動陰極小車運動沿陰極軌道延伸方向運動，陰極座固定安裝于陰極小車上。

5.根據權利要求4所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述進給驅動裝置包括滾珠絲杠傳動機構(9)和第二伺服電機(12)，第二伺服電機通過滾珠絲杠傳動機構驅動陰極小車運動，控制系統控制第二伺服電機啟停和轉向。

6.根據權利要求2所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述工件定位裝置包括支架、鏈輪(14)、鏈條(15)和第三伺服電機(11)，支架沿工件長度方向的兩端分別設有一個鏈輪，鏈輪能夠相對支架轉動，鏈條與兩個鏈輪嚙合，鏈條兩端分別與工件沿其長度方向內側兩端相連，第三伺服電機驅動一個鏈輪轉動，控制系統控制第三伺服電機啟停和轉向。

7.根據權利要求6所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述支架上還設有一個懸掛點(19)，工件中心能夠轉動的懸掛于該懸掛點上。

8.根據權利要求1或6所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述真空腔體內還設有自真空腔體入口向真空腔體內部水平延伸的橫向軌道(16)，橫向軌道上設有能夠水平運動的工件架小車(2)，工件定位裝置安裝于工件架小車上。

9.根據權利要求8所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：還設有外部小車(17)，外部小車上設有與真空腔體內部銜接的外部軌道(18)，工件架小車能夠沿外部軌道滑動到外部小車上。

10.根據權利要求1所述的戰斗機駕駛艙玻璃罩表面物理氣相沉積設備，其特征在于：所述充氣系統包括提供不同氣體的氣路、混氣裝置、閥體和氣體流量計，各條氣路通過混氣裝置與真空腔體連通，各條氣路上均設有閥體和氣體流量計，氣體流量計能夠檢測氣路中氣流流量值并傳信于控制系統，控制系統控制各條氣路上閥體的開閉。