[實用新型]一種石英玻璃晶圓精密加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020453915.9
• 申請日: 2020-04-01
• 公開（公告）號: CN212145960U
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬峰;張寶柱;馬雄
• 申請（專利權(quán)）人: 金湖萬迪光電科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30
• 代理公司: 南京蘇博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32411
• 代理人: 伍兵

1.一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，包括機架(1)，其特征在于，所述機架(1)上端安裝有第一電機(2)，所述機架(1)上端關(guān)于第一電機(2)對稱固定連接有支撐板(3)，兩個所述支撐板(3)上端共同固定連接有安裝板(4)，所述安裝板(4)上端安裝有第二電機(5)，所述第二電機(5)的輸出端通過聯(lián)軸器連接有螺紋桿(6)，所述螺紋桿(6)通過第一軸承與安裝板(4)轉(zhuǎn)動連接，所述螺紋桿(6)的下端穿過第一軸承并向外延伸，且其桿壁上螺紋連接有螺紋套筒(7)，所述安裝板(4)底部關(guān)于螺紋桿(6)對稱固定連接有限位框(8)，所述螺紋套筒(7)環(huán)形側(cè)壁上對稱固定連接有限位桿(9)，所述限位桿(9)的另一端穿過對應(yīng)的限位框(8)并向外延伸，位于所述限位桿(9)后方的限位框(8)上固定連接有刻度尺(10)，所述限位桿(9)和限位框(8)滑動連接，所述螺紋套筒(7)的下端固定連接有研磨盤(11)，位于所述研磨盤(11)正下方的機架(1)上端設(shè)有拋光箱(12)，所述拋光箱(12)底部的四角處均固定連接有支撐桿，且所述支撐桿的另一端固定連接在機架(1)上端，所述第一電機(2)的輸出端通過聯(lián)軸器連接有轉(zhuǎn)軸(13)，所述轉(zhuǎn)軸(13)通過第二軸承與拋光箱(12)箱底轉(zhuǎn)動連接，所述轉(zhuǎn)軸(13)上端穿過第二軸承并向拋光箱(12)內(nèi)延伸，且固定連接有載物盤(14)，所述載物盤(14)上端開設(shè)有若干個放置槽(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，其中一個所述支撐板(3)上固定連接有磨料箱(16)和水泵(17)，所述磨料箱(16)內(nèi)填充有研磨液，所述磨料箱(16)和水泵(17)之間連通有抽水管，所述研磨盤(11)內(nèi)開設(shè)有磨料腔(18)，所述磨料腔(18)腔底均勻等距的開設(shè)有若干個噴料孔(19)，所述水泵(17)的輸出端連通有波紋管(20)，所述波紋管(20)的另一端穿過支撐板(3)并與磨料腔(18)相連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述拋光箱(12)箱口上固定連接有與研磨盤(11)相匹配的密封圈(21)，若干個所述放置槽(15)的大小不一。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述拋光箱(12)箱壁上連通有清洗管(22)，所述清洗管(22)的另一端與水源連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述機架(1)內(nèi)設(shè)有儲物柜(23)，所述儲物柜(23)的柜門上安裝有把手。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述拋光箱(12)箱底連通有排水管(24)，所述排水管(24)的管壁上安裝有管閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述放置槽(15)槽底開設(shè)有若干個漏液孔(25)，所述磨料箱(16)的上箱壁上連通有補液斗。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述拋光箱(12)箱壁上連通有排液管(26)，所述排液管(26)的另一端穿過支撐板(3)并向外延伸，且與磨料箱(16)相連通，所述排液管(26)上安裝有管閥。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英玻璃晶圓精密加工裝置，其特征在于，所述機架(1)底部的四角處均固定連接有橡膠墊。