[實(shí)用新型]一種分立器件晶圓快速掃描測試電路及其裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020446091.2
• 申請(qǐng)日: 2020-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN212379510U
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王煜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陜西三海測試技術(shù)開發(fā)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 李鵬威

本實(shí)用新型公開了一種分立器件晶圓快速掃描測試電路及其裝置，其測試電路包括功率驅(qū)動(dòng)模塊、電流采樣模塊、開關(guān)、電壓采樣模塊、使能模塊，所述測試電路以工作特性分為A、B、C三個(gè)端口，從每個(gè)端口引出兩根連接線分別為采樣端口和輸出端口，功率驅(qū)動(dòng)模塊用于向輸出端口進(jìn)行功率驅(qū)動(dòng)，電流采樣模塊用于采樣輸出線路上的電流值，開關(guān)用于切換電路的電壓閉環(huán)和電流閉環(huán)，電壓采樣模塊用于采樣采樣端口的電壓，使能模塊用于控制測試電路的工作狀態(tài)。本實(shí)用新型還相應(yīng)的公開了一種分立器件晶圓快速掃描測試裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)分立器件晶圓的大電流參數(shù)進(jìn)行快速掃描測量，有效提高了測試效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及分立器件測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種分立器件晶圓快速掃描測試電路及其裝置。

背景技術(shù)

在分立器件主要包括場效應(yīng)管(MOS)、三極管(BJT)、二極管(DIODE)等。其中間產(chǎn)品晶圓需要進(jìn)行預(yù)先測試，剔除失效的器件,合格的器件才會(huì)進(jìn)行后面的封裝工序,分立器件經(jīng)常為單顆價(jià)值低，但批產(chǎn)量很大的品種,測試效率是非常重要的因素，提高測試效率可以大幅度提高投入產(chǎn)出比。

大電流參數(shù)對(duì)于MOS器件主要包括Rdson、Vfsd、Gfs等，對(duì)于三極管器件主要包括Vcesat、Hfe等，對(duì)于二極管器件主要包括Vf。當(dāng)這些參數(shù)的測試電流過大時(shí)，會(huì)在測試電纜上引起明顯壓降，其壓降的波動(dòng)會(huì)對(duì)其它共襯底被測器件造成不可忽視的誤差。

如果能進(jìn)行并行測試，可以在投入增加不多的情況下大幅度提高測試效率，但是在進(jìn)行并行測試時(shí)要考慮晶圓襯底流過大電流時(shí)每個(gè)顆粒的參考電平變化，并且大電流參數(shù)測試時(shí)都是進(jìn)行脈沖測試，因此采用快速掃描測試方法。落。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供了一種分立器件晶圓快速掃描測試電路及其裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)分立器件晶圓的大電流參數(shù)進(jìn)行快速掃描測量，有效提高了分立器件晶圓大電流參數(shù)測試效率。

為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，所采用的技術(shù)方案是：

本實(shí)用新型公開了一種分立器件晶圓快速掃描測試電路及其裝置，用于測試分立器件晶圓的大電流測試參數(shù)，其測試電路包括功率驅(qū)動(dòng)模塊、電流采樣模塊、開關(guān)、電壓采樣模塊、使能模塊，所述測試電路以工作特性分為A、B、C三個(gè)端口，從每個(gè)端口引出兩根連接線分別為采樣端口和輸出端口，功率驅(qū)動(dòng)模塊用于向輸出端口進(jìn)行功率驅(qū)動(dòng)，電流采樣模塊用于采樣輸出線路上的電流值，開關(guān)用于切換電路的電壓閉環(huán)和電流閉環(huán)，電壓采樣模塊用于采樣采樣端口的電壓，使能模塊用于控制測試電路的工作狀態(tài)。本實(shí)用新型還相應(yīng)的公開了一種分立器件晶圓快速掃描測試裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)分立器件晶圓的大電流參數(shù)進(jìn)行快速掃描測量，有效提高了測試效率。

方案進(jìn)一步是：所述開關(guān)向上閉合時(shí)為電流閉環(huán)，向下閉合時(shí)為電壓閉環(huán)。

方案進(jìn)一步是：所述使能模塊當(dāng)其處于禁止?fàn)顟B(tài)時(shí)測量電路不工作，當(dāng)其處于有效狀態(tài)時(shí)測量電路工作，其狀態(tài)由禁止轉(zhuǎn)為有效狀態(tài)的時(shí)間為7微秒。

方案進(jìn)一步是：所述功率驅(qū)動(dòng)模塊其中包括運(yùn)算放大器及其外圍電路，其輸出端與電流采樣模塊相連，其反相輸入端與開關(guān)相連。

本實(shí)用新型的瞬態(tài)熱阻測試電路的有益效果是：

本實(shí)用新型的一種分立器件晶圓快速掃描測試電路及其裝置能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)分立器件晶圓的大電流參數(shù)進(jìn)行快速掃描測量，有效提高了測試效率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是一種分立器件晶圓快速掃描測試電路原理圖；

圖2是四工位測量MOSFET晶圓的實(shí)物連接圖；

具體實(shí)施方式