[實用新型]一種用于硬脆性薄片的旋蠟裝置

有效

• 申請號: 202020444287.8
• 申請日: 2020-03-31
• 公開（公告）號: CN212263772U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 朱亮;盧嘉彬;周鋒;聶魁宏;高紅剛;劉小琴;趙志鵬;曹建偉;傅林堅
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;B05C5/00;B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本實用新型涉及硬脆性材料貼片設備的輔助設備領域，特別涉及一種用于硬脆性薄片的旋蠟裝置。包括工作臺組件，工作臺組件包括工作臺底座，工作臺底座下端面中心處設有旋轉接頭，旋轉接頭與伺服電機相連接，旋轉接頭的頂端穿過工作臺底座并設有吸盤座；升降氣缸安裝在工作臺組件上，旋蠟罩罩設于吸盤座的外部并與升降氣缸相連接，旋蠟罩升起后能防止在旋蠟過程中造成蠟液的飛濺；滴蠟移動氣缸組件包括移動氣缸和噴頭；移動氣缸安裝在工作臺底座上端面一側，噴頭安裝與移動氣缸氣缸桿相連并設于吸盤座正上方，噴頭的一端與定量泵相連接，另一端用于噴射蠟液。本實用新型滴蠟移動氣缸采用無桿氣缸，使得整個組件更為穩定也更為緊湊，行程更長。

技術領域

本實用新型是關于硬脆性材料貼片設備的輔助設備領域，特別涉及一種用于硬脆性薄片的旋蠟裝置。

背景技術

硬脆性材料貼片設備在半導體行業應用非常廣泛，其主要功能是將蠟液均勻地涂布在潔凈的硬脆性薄片的一面，經過高溫烘烤并將其貼在預熱好的陶瓷盤上，經冷壓盤冷卻后再進行后續的拋光工作。而在硬脆性材料貼片設備中，硬脆性薄片的旋蠟是否均勻是貼片質量好壞的關鍵所在。

在現有技術的硬脆性薄片旋蠟過程中，由于定量泵的性能原因，常導致蠟液在泵出的過程中，自身就會產生一些氣泡，對之后的旋蠟是不利的；而由于旋轉接頭的性能原因，則會導致硬脆性薄片在旋轉的過程中不同心，很難將蠟液旋均勻，在旋蠟后的硬脆性薄片上的某一角度會突然“產生”一道很明顯的蠟液痕跡，影響后續貼片的效果，經常在貼片時產生較大的氣泡率，很難滿足后續使用要求。因此如何減小氣泡率和保證旋蠟的均勻性是一個急需解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術中的不足，提供一種能夠改善硬脆性薄片旋蠟均勻性的旋蠟裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于硬脆性薄片的旋蠟裝置，包括工作臺組件、旋蠟罩升降組件和滴蠟移動氣缸組件；

工作臺組件包括工作臺底座，工作臺底座底部四周設有多根支撐柱；工作臺底座下端面中心處設有旋轉接頭，旋轉接頭通過聯軸器與伺服電機相連接，旋轉接頭的頂端穿過工作臺底座并設有吸盤座；旋蠟罩升降組件包括多組升降氣缸和旋蠟罩；升降氣缸安裝在工作臺組件上，旋蠟罩罩設于吸盤座的外部并與升降氣缸相連接，旋蠟罩升起后能防止在旋蠟過程中造成蠟液的飛濺；滴蠟移動氣缸組件包括移動氣缸和噴頭；移動氣缸安裝在工作臺底座上端面一側，噴頭安裝與移動氣缸氣缸桿相連并設于吸盤座正上方，噴頭的一端與定量泵相連接，另一端用于噴射蠟液。

作為一種改進，吸盤座通過旋轉接頭在伺服電機的驅動下做高速旋轉運動，利用離心力的作用將蠟液均勻地布滿硬脆性薄片的表面。

作為一種改進，吸盤座的表面開有一凹槽，作為氣路通道，且采用真空作用將硬脆性薄片吸附住。

作為一種改進，移動氣缸為無桿氣缸。

作為一種改進，此結構所采用的定量泵，工作時噴頭在移動氣缸的作用下移動到硬脆性薄片的中心位置，并向硬脆性薄片泵出一定量的蠟液，定量泵能避免蠟液中氣泡的產生，進一步提高了旋蠟質量。

作為一種改進，工作臺組件下方設有排液盒，硬脆性薄片在旋蠟后排出的廢蠟液會流進排液盒內，防止蠟液污染環境，并可做到集中收集統一處理。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型滴蠟移動氣缸采用無桿氣缸，使得整個組件更為穩定也更為緊湊，行程更長；

2、本實用新型可滿足對不同大小硬脆性薄片旋蠟的加工要求，適用于4寸及6寸的硬脆性薄片；

3、本實用新型采用的旋轉接頭和定量泵，極大地改善了硬脆性薄片旋蠟的效果，滿足使用要求；

4、本實用新型結構簡單，維護便捷、容易。