[實用新型]一種極化裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020441687.3
• 申請日: 2020-03-30
• 公開（公告）號: CN211654860U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪宏;王澤環(huán)
• 申請（專利權(quán)）人: 南方科技大學(xué)
• 主分類號: H01L41/257
• 分類號: H01L41/257
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 謝岳鵬

1.一種極化裝置，用于對待極化樣品進行極化，其特征在于，包括：

極化箱，所述極化箱內(nèi)設(shè)有極化空間；

抽真空部，所述抽真空部與所述極化空間連通，所述抽真空部能夠使所述極化空間處于真空狀態(tài)；

樣品固定部，所述樣品固定部置于所述極化空間內(nèi)，所述樣品固定部用于固定所述待極化樣品；

極化探針，所述極化探針置于所述極化空間內(nèi)；

電源，所述極化探針與所述樣品固定部分別與所述電源的兩極相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極化裝置，其特征在于，所述極化探針與所述樣品固定部間的距離可調(diào)，且所述極化探針與所述待極化樣品的間距范圍為1cm-3cm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極化裝置，其特征在于，還包括充氣部，所述充氣部與所述極化空間連通，所述充氣部能夠向所述極化空間內(nèi)充氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極化裝置，其特征在于，還包括氣壓傳感器，所述氣壓傳感器位于所述極化空間內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極化裝置，其特征在于，還包括極化油，所述極化油充滿所述極化空間，且所述極化探針能夠與所述待極化樣品接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的極化裝置，其特征在于，還包括彈性件，所述極化探針與所述彈性件連接以使得所述極化探針能夠相對于所述待極化樣品彈性運動。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的極化裝置，其特征在于，還包括加熱臺與溫度傳感器，所述樣品固定部置于所述加熱臺上，所述溫度傳感器位于所述樣品固定部上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極化裝置，其特征在于，還包括伸縮桿，所述伸縮桿的兩端分別與所述極化探針、所述樣品固定部連接，所述伸縮桿能夠沿長度方向伸縮以調(diào)節(jié)所述極化探針與所述樣品固定部間的距離。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的極化裝置，其特征在于，所述伸縮桿包括第一桿與第二桿，所述第一桿上設(shè)有卡塊，所述第二桿上沿長度方向設(shè)有多個卡槽，所述卡塊能夠卡入任意一個所述卡槽。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的極化裝置，其特征在于，還包括驅(qū)動部與齒輪，所述伸縮桿包括第一桿與第二桿，所述第一桿插入所述第二桿內(nèi)，所述第一桿上設(shè)有沿長度方向延伸的齒條，所述齒輪與所述齒條嚙合，所述驅(qū)動部能夠驅(qū)動所述齒輪轉(zhuǎn)動。