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[實用新型]一種新型硅片噴吹裝置有效

專利信息
申請號: 202020441505.2 申請日: 2020-03-31
公開(公告)號: CN212554516U 公開(公告)日: 2021-02-19
發明(設計)人: 嵇峰 申請(專利權)人: 江蘇晶科天晟能源有限公司
主分類號: B28D7/02 分類號: B28D7/02
代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 代理人: 陳亮
地址: 225800 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 新型 硅片 裝置
【權利要求書】:

1.一種新型硅片噴吹裝置,包括硅片切割裝置,設置在硅片切割裝置上的硅片切割平臺,其特征在于,所述硅片切割平臺上配合設置有噴吹裝置,所述噴吹裝置對著硅片切割平臺,所述噴吹裝置包括左側移動平臺組件和右側移動平臺組件,分別設置在左側移動平臺組件和右側移動平臺組件上的噴吹支架,安裝在噴吹支架上的噴吹組件,所述左側移動平臺組件和右側移動平臺組件上的噴吹組件之間相對設置。

2.根據權利要求1所述的一種新型硅片噴吹裝置,其特征在于:所述左側移動平臺組件和右側移動平臺組件分別包括固定在硅片切割平臺上的固定座,設置在固定座的上的軌道,配合設置在噴吹支架上的導軌,所述導軌配合軌道設置。

3.根據權利要求1所述的一種新型硅片噴吹裝置,其特征在于:所述噴吹支架包括呈四邊形設置的框架,設置在框架頂部的進液口,設置在框架中心位置的框架工作部,所述框架工作部處設置有噴吹組件;噴吹組件與進液口處連接。

4.根據權利要求1所述的一種新型硅片噴吹裝置,其特征在于:所述噴吹組件包括若干組噴吹管道,噴吹管道包括噴吹長管道和噴吹短管道,噴吹長管道和噴吹短管道之間交錯設置。

5.根據權利要求3所述的一種新型硅片噴吹裝置,其特征在于:所述框架上的進液口設置有兩排并包括前排進口和后排進口;前排進口與噴吹長管道之間連接,后排進口與噴吹短管道之間連接。

6.根據權利要求4或5所述的一種新型硅片噴吹裝置,其特征在于:所述噴吹長管道和噴吹短管道上的管道均采用彈性彎管制成。

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