[實用新型]一種用于石英管更換的輔助對準裝置和一種半導體處理爐

有效

• 申請號: 202020439773.0
• 申請日: 2020-03-30
• 公開（公告）號: CN211788930U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 張浩冉;鄧偉東
• 申請（專利權）人: 芯恩（青島）集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京漢之知識產權代理事務所(普通合伙) 11479
• 代理人: 高園園

1.一種用于石英管更換的輔助對準裝置，所述石英管呈圓柱形，且安裝在管座的圓柱形凹槽內，其特征在于，所述輔助對準結構包括：

能夠固定在管座上方的安裝架，所述安裝架上設置有可延伸至所述管座上方的承載架；

安裝在所述承載架上的至少三個激光器，所述至少三個激光器的激光射線指向所述管座，并能沿待更換石英管外圓柱面的不同母線延伸方向射出。

2.根據權利要求1所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述安裝架還包括底座、第一連接架、第二連接架，所述底座上設置有能夠將所述底座固定在處理爐上的連接部，所述第一連接架的一端與所述底座通過可鎖定不動的第一鉸接結構相鉸接；所述第二連接架的一端與所述第一連接架的另一端通過可鎖定不動的第二鉸接結構相鉸接；所述承載架與所述第二連接架的另一端通過可鎖定不動的第三鉸接結構相鉸接。

3.根據權利要求2所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述第一連接架包括第一連接體和第二連接體，所述底座上設置有向上凸起的鉸接座，所述第一連接體和所述第二連接體朝向所述鉸接座的一端分居于所述鉸接座兩側并通過所述第一鉸接結構與所述鉸接座相鉸接；所述第一連接體和所述第二連接體朝向所述第二連接架的一端分居于所述第二連接架的兩側，并分別通過所述第二鉸接結構與所述第二連接架相鉸接，所述鉸接結構包括鉸接螺栓和螺母，所述鉸接螺栓的小端穿過各個鉸接件上的鉸接孔與所述螺母螺紋連接。

4.根據權利要求3所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述第一連接體、第二連接體與所述鉸接座和/或所述第二連接架之間，所述承載架與所述第二連接架之間均設置有止動墊圈。

5.根據權利要求4所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述止動墊圈的兩側表面均設置有多個尖凸部。

6.根據權利要求1所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述安裝架包括底座和支架，所述底座上設置有能夠將所述底座固定在處理爐上的連接部，所述支架的一端與所述底座相固連，另一端與所述承載架相固連。

7.根據權利要求1至6任一項所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述承載架上設置有與所述激光器相配的安裝筒，所述激光器通過可調的頂緊結構安裝在所述安裝筒內，所述可調的頂緊結構包括設置在所述安裝筒一端的第一調節結構和設置在所述安裝筒另一端的第二調節結構，所述調節結構包括至少三個螺釘，所述至少三個螺釘螺紋連接安裝在所述安裝筒上，且沿所述安裝筒的徑向伸入至所述安裝筒內并頂緊在所述激光器上。

8.根據權利要求7所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述至少三個螺釘沿圓周方向均布。

9.根據權利要求8所述的輔助對準裝置，其特征在于，所述安裝筒上設置有多個用于涂膠將調整完畢后的所述激光器與所述安裝筒相粘結固定的涂膠孔。

10.一種半導體處理爐，包括石英管和管座，其特征在于，還包括權利要求1至9中任一項所述的輔助對準裝置。