[實用新型]一種流體控溫式的化學機械拋光平臺

有效

• 申請號: 202020439161.1
• 申請日: 2020-03-30
• 公開（公告）號: CN211805514U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 王家雄
• 申請（專利權）人: 昂士特科技（深圳）有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34;B24B55/03
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 譚雪婷;梁炎芳

1.一種流體控溫式的化學機械拋光平臺，其特征在于，包括：具有中空腔的拋光盤、具有流體通道的旋轉軸、圓筒底座、進液管和流體恒溫反應器；所述拋光盤中心底部設置有連接座，所述連接座與所述旋轉軸頂部緊密連接，所述連接座內開設有連接所述中空腔和所述流體通道的連接腔，所述旋轉軸通過防水軸承設置在所述圓筒底座上，所述進液管的一端依次穿過所述圓筒底座、所述流體通道和所述連接腔，并位于所述中空腔內；所述圓筒底座還開設有與所述流體通道連通的流體出口；所述流體出口和所述進液管遠離所述拋光盤的一端分別與所述流體恒溫反應器連接。

2.如權利要求1所述的流體控溫式的化學機械拋光平臺，其特征在于，還包括密封圈，所述密封圈分別與所述旋轉軸和所述連接座連接。

3.如權利要求2所述的流體控溫式的化學機械拋光平臺，其特征在于，所述旋轉軸的外側壁上設置有傳動輪。

4.如權利要求2所述的流體控溫式的化學機械拋光平臺，其特征在于，所述拋光盤的側壁開設有排氣孔，所述排氣孔與所述中空腔連通，所述排氣孔上還設置有密封蓋。

5.如權利要求2所述的流體控溫式的化學機械拋光平臺，其特征在于，所述密封圈為硅橡膠或氟橡膠。

6.如權利要求3所述的流體控溫式的化學機械拋光平臺，其特征在于，所述傳動輪為皮帶輪或齒輪。