[實用新型]一種多晶硅片的清洗裝置有效
| 申請號: | 202020425556.6 | 申請日: | 2020-03-30 |
| 公開(公告)號: | CN212190271U | 公開(公告)日: | 2020-12-22 |
| 發明(設計)人: | 楊世豪;顧夏斌;賴瑋晟 | 申請(專利權)人: | 蘇州澳京光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/02 | 分類號: | B08B3/02;B08B13/00;B08B1/02 |
| 代理公司: | 蘇州市小巨人知識產權代理事務所(普通合伙) 32415 | 代理人: | 凌立 |
| 地址: | 215500 江蘇省蘇州市常*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 硅片 清洗 裝置 | ||
1.一種多晶硅片的清洗裝置,其特征在于:包括基座、固定框、筒刷電機、固定框滑移驅動電機、電機座、立柱、連接板、筒刷柱、固定框限位片、齒輪、筒刷、筒刷柱螺母、噴淋嘴、滑軌、第一避讓槽、第二避讓槽、第三避讓槽、軸承;
所述基座包括用于擱置固定框的平臺以及位于平臺下方且平行于平臺的T形臺,T形臺前端通過兩個垂直的壁板連接平臺;所述基座的T形臺中央設有滑軌;
所述固定框為長條板狀,固定框中間區域設有用于嵌入多晶硅片的槽,在固定框一側面上設有齒槽;
所述基座的平臺兩側設有固定框限位片,固定框限位片為兩個相互平行的平板,固定框兩端嵌入固定框限位片兩個平板的間隙中;
所述電機座底部設有用于在滑軌中滑動的滑輪,電機座前端設有用于分別嵌入筒刷電機和固定框滑移驅動電機的槽,電機座后端設有兩個立柱,兩個立柱上端各設有一個連接板;所述筒刷電機和固定框滑移驅動電機分別放入電機座前端的槽內,筒刷電機的轉軸上設有筒刷,固定框滑移驅動電機的轉軸上設有齒輪,當電機座滑移靠近基座平臺時,齒輪與固定框上的齒槽嚙合;兩個連接板前端設孔,孔內嵌入軸承,筒刷電機和固定框滑移驅動電機的轉軸分別穿過兩個軸承;
所述筒刷柱一端鉸接在有筒刷電機的轉軸穿過的連接板的前端,筒刷柱另一端設外螺紋,筒刷柱螺母旋入該外螺紋;所述筒刷柱中段設有筒刷;
所述基座平臺靠近筒刷電機和固定框滑移驅動電機的一側上設有當電機座滑移靠近基座平臺時用于避讓筒刷電機的轉軸和固定框滑移驅動電機的轉軸的第三避讓槽和第一避讓槽,在基座平臺另一側,位于第三避讓槽對面設有用于避讓筒刷柱的第二避讓槽;
所述噴淋嘴從基座平臺的兩側伸入,且朝向固定框中央區域用于嵌入多晶硅片的槽附近。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的清洗裝置,其特征在于:所述基座的T形臺前端和后端分別設有用于限制電機座滑移范圍的電機座前端擋板和電機座后端擋板。
3.根據權利要求2所述的一種多晶硅片的清洗裝置,其特征在于:所述電機座后端擋板通過螺接方式固定在基座的T形臺后端。
4.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的清洗裝置,其特征在于:所述固定框限位片中間區域用于嵌入多晶硅片的槽一側設有螺孔,螺釘旋入螺孔固定多晶硅片。
5.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的清洗裝置,其特征在于:所述筒刷電機和固定框滑移驅動電機均為可正反轉動的電機。
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