[實用新型]防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020409421.0
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN212375370U
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田英干
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興晶裝電子科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/16
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王大國

1.防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的上表面中間位置設(shè)置有臺體(2)，且基板(1)的頂部開設(shè)有固定腔(4)，所述臺體(2)的下表面中間位置焊接有底盤(5)，且臺體(2)的底部固定安裝有定位套(6)，所述臺體(2)的下表面中間位置通過定位套(6)垂直活動安裝有驅(qū)動軸(7)，所述臺體(2)的外表面設(shè)置有罩殼(8)，且基板(1)的上表面焊接有和罩殼(8)相對應(yīng)的固定座(11)，所述固定座(11)的橫截面形狀為圓環(huán)形，且固定座(11)靠近臺體(2)的外表面位置開設(shè)有導(dǎo)腔(12)，所述罩殼(8)通過導(dǎo)腔(12)垂直活動安裝在基板(1)的上表面位置，且罩殼(8)的內(nèi)表面固定安裝有隔熱氈(13)和電阻絲(14)，所述隔熱氈(13)包覆在電阻絲(14)遠離臺體(2)的外表面位置，所述臺體(2)的頂部中間位置開設(shè)有晶圓夾腔(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，其特征在于，所述基板(1)的上下表面位置之間活動安裝有四組固定栓(3)，四組所述固定栓(3)均勻分布在固定座(11)的四周。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，其特征在于，所述底盤(5)和固定腔(4)相契合，且臺體(2)通過底盤(5)以及固定腔(4)與基板(1)活動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，其特征在于，所述定位套(6)的上端和固定腔(4)的底部相對應(yīng)，且驅(qū)動軸(7)的上端垂直固定安裝在底盤(5)的下表面中間位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，其特征在于，所述罩殼(8)的頂部為實芯結(jié)構(gòu)，且罩殼(8)的上表面中間位置固定安裝有拉把(9)和進氣管(10)，所述拉把(9)設(shè)置在進氣管(10)的前方，且進氣管(10)的下端與罩殼(8)的頂部垂直貫穿連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，其特征在于，所述臺體(2)的上表面焊接有載重板(16)，且載重板(16)設(shè)置在晶圓夾腔(15)的內(nèi)部，所述晶圓夾腔(15)的內(nèi)部兩側(cè)位置均滑動安裝有限位板(18)，兩組所述限位板(18)相互遠離的一側(cè)外壁均和臺體(2)相接觸，且限位板(18)的下表面和載重板(16)的上表面相接觸，兩組所述限位板(18)組合成圓型結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防溢蒸晶圓蒸發(fā)臺，其特征在于，所述罩殼(8)的內(nèi)表面焊接有滑板(17)，且滑板(17)為漏斗型結(jié)構(gòu)，所述滑板(17)和罩殼(8)之間夾角的角度為四十五度，且滑板(17)的底部和晶圓夾腔(15)相對應(yīng)，兩組所述限位板(18)的上表面分別固定安裝在所述滑板(17)的底部兩側(cè)邊緣位置。