[實用新型]一種超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置

有效

• 申請號: 202020402263.6
• 申請日: 2020-03-26
• 公開（公告）號: CN212311159U
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 鄒達;熊波波
• 申請（專利權）人: 英諾激光科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/352
• 分類號: B23K26/352;B23K26/362;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/0622
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 巫苑明

1.一種超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，包括可沿X軸和Y軸方向移動的XY平臺以及兩組對稱設于XY平臺上方的第一激光拋光裝置和第二激光拋光裝置；所述第一激光拋光裝置包括豎直設于XY平臺上方的第一激光燒蝕頭、用于發射激光的納秒激光器以及將激光傳輸入第一激光燒蝕頭內的第一光路傳導鏡組；所述第二激光拋光裝置包括豎直設于XY平臺上方的第二激光燒蝕頭、用于發射激光的飛秒激光器以及將激光傳輸入第二激光燒蝕頭內的第二光路傳導鏡組。

2.如權利要求1所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述納秒激光器和飛秒激光器朝相反方向水平設置，所述第一光路傳導鏡組和第二光路傳導鏡組均包括兩個呈45度角傾斜并相對設置的第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡用于接收納秒激光器或飛秒激光器發出的激光束并將激光束縱向傳輸至第二反射鏡，所述第二反射鏡用于接收第一反射鏡傳輸來的激光束并將激光束橫向傳輸至第一激光燒蝕頭或第二激光燒蝕頭。

3.如權利要求2所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述第一反射鏡與納秒激光器和飛秒激光器之間均設有擴束鏡。

4.如權利要求3所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述第一激光燒蝕頭或第二激光燒蝕頭均包括由上往下依次設置的掃描振鏡和場鏡，通過所述掃描振鏡接收所述第二反射鏡傳輸來的激光束。

5.如權利要求1-4任一項所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述納秒激光器采用波長為515～532nm的綠光或1030～1064nm的紅外光，脈寬為50～100ns，頻率100～300KHz；所述飛秒激光器采用波長為515～532nm的綠光或1030～1064nm的紅外光，脈寬為50～900fs，頻率150～1000KHz。

6.一種超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，包括可沿X軸和Y軸方向移動的XY平臺以及設于XY平臺上方的激光拋光裝置，所述激光拋光裝置包括豎直設于XY平臺上方的激光燒蝕頭、用于發射激光的飛秒激光器以及將飛秒激光器發出的激光傳輸入激光燒蝕頭內的第一光路傳導鏡組，還包括與所述飛秒激光器平行設置的納秒激光器以及將納秒激光器發出的激光傳輸至第一光路傳導鏡組的第二光路傳導鏡組，所述第二光路傳導鏡組中包括一個可拆卸設于所述飛秒激光器與第一光路傳導鏡組之間并呈45度角傾斜設置的第三反射鏡。

7.如權利要求6所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述納秒激光器和飛秒激光器水平設置并呈上下平行分布，所述第一光路傳導鏡組包括兩個呈45度角傾斜并相對設置的第一反射鏡和第二反射鏡，所述第二光路傳導鏡組還包括一個呈45度角傾斜并與第三反射鏡相對設置的第四反射鏡，所述第四反射鏡用于接收納秒激光器發出的激光束并將激光束縱向傳輸至第三反射鏡，所述第三反射鏡用于接收第四反射鏡傳輸來的激光束并將激光束橫向傳輸至第一反射鏡，所述第一反射鏡用于接收飛秒激光器發出的激光束或接收第三反射鏡傳輸來的激光束并將激光束縱向傳輸至第二反射鏡，所述第二反射鏡用于接收第一反射鏡傳輸來的激光束并將激光束橫向傳輸至所述激光燒蝕頭。

8.如權利要求7所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述第四反射鏡與納秒激光器設有擴束鏡，所述第三反射鏡與飛秒激光器之間也設有擴束鏡。

9.如權利要求8所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述激光燒蝕頭包括由上往下依次設置的掃描振鏡和場鏡，通過所述掃描振鏡接收所述第二反射鏡傳輸來的激光束。

10.如權利要求6-9任一項所述的超硬材料切割橫截面的激光拋光裝置，其特征在于，所述納秒激光器采用波長為515～532nm的綠光或1030～1064nm的紅外光，脈寬為50～100ns，頻率100～300KHz；所述飛秒激光器采用波長為515～532nm的綠光或1030～1064nm的紅外光，脈寬為50～900fs，頻率150～1000KHz。