[實用新型]一種FTIR測試的樣片測試臺

有效

• 申請號: 202020394062.6
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN212134490U
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 周小勇;鄒健
• 申請（專利權）人: 揚州合晶科技有限公司
• 主分類號: G01N21/59
• 分類號: G01N21/59
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 潘云峰

本實用新型公開了一種FTIR測試的樣片測試臺。該種FTIR測試的樣片測試臺包括工作臺；位移機構，位移機構安裝于工作臺；安裝座，安裝座安裝于位移機構，安裝座用于使樣片定位；其中，位移機構用于驅動安裝座沿直線運動。該種FTIR測試的樣片測試臺結構簡單，通過安裝座對樣片進行定位、位移機構對樣片位置進行調節，方便、簡單的實現了對樣片進行穩定夾持和位置調節的功能。

技術領域

本實用新型涉及FTIR測試技術領域，特別涉及FTIR測試的樣片測試臺。

背景技術

單晶硅是一種具有基本完整的點陣結構的晶體，不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料，單晶硅材料可以用于制造太陽能電池、半導體器件等，用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成，由于其應用領域的特殊性，要求其純度達到99.9999％甚至更高，而單晶硅生產過程中由原料及方法等因素難以避免的引入了碳、氧等雜質，直接影響了單晶硅的性能，因而需對單晶硅材料中的碳、氧含量進行控制。

目前對單晶硅材料中碳、氧含量常常通過FTIR測試測得，即先通過治具將圓形的單晶硅的樣片(樣片尺寸一般具有4、5、6寸這三種)夾持固定，并使得樣片的圓心與測試設備的紅外光射出點保持同一水平高度，通過測試設備朝向樣片發出紅外光，收集穿過樣片的光波并與射出的光波進行比對分析，從而得出樣片圓心處或者某一徑向的碳、氧含量。

目前，購買FTIR測試用的測試設備時，廠家并不配套提供夾持樣片的治具，請廠家定做，往往成本較高；市場中的樣片夾持用的治具多種多樣，導致對樣片的夾持效果良莠不齊，從而對樣片測試的結果會產生不利的影響。

實用新型內容

本申請通過提供一種FTIR測試的樣片測試臺，能夠簡單、有效的對樣片進行穩定夾持。

本申請實施例提供了一種FTIR測試的樣片測試臺，包括

工作臺；

位移機構，所述位移機構安裝于所述工作臺；

安裝座，所述安裝座安裝于所述位移機構，所述安裝座用于使樣片定位；

其中，所述位移機構用于驅動所述安裝座沿直線運動。

該種FTIR測試的樣片測試臺使用時，將樣片設置于安裝座中，通過安裝座定位樣片，根據樣片所要測試位置，通過位移機構調節樣片位置，從而便于測設設備進行測試，該種FTIR測試的樣片測試臺結構簡單，通過安裝座進行定位，再通過位移機構對樣片位置進行調節，方便、簡單的實現了對樣片進行夾持和位置調節的功能。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進：

進一步地：所述位移機構包括：導軌，所述導軌安裝于所述工作臺；滑塊，所述滑塊滑動連接于所述導軌；定位裝置，所述定位裝置用于使所述滑塊相對于導軌定位。本步的有益效果：通過滑塊在導軌運動，從而調節樣片的位置，通過定位裝置，能夠保證樣片在位置調節后定位的穩定性。

進一步地：所述定位裝置包括：螺紋連接件，所述螺紋連接件通過螺紋連接于所述滑塊開設的螺紋孔；墊片，所述墊片固定連接于所述螺紋連接件，所述墊片用于與所述導軌或者工作臺表面接觸。本步的有益效果：通過墊片與導軌或者工作臺表面產生靜摩擦力，從而使得滑塊定位。

進一步地：所述安裝座開設有至少一個定位槽，所述安裝座還包括定位機構，所述定位機構用于使所述樣片在所述定位槽中定位。本步的有益效果：通過定位槽放置樣片，通過定位機構對放置于定位槽中的樣片進行定位。

進一步地：所述定位槽有三個且包括依次相互連通的槽一、槽二、槽三，所述槽一、槽二、槽三為直徑依次變小的同心圓弧槽。本步的有益效果：通過設置多個定位槽，從而能夠放置不同尺寸的樣片，提供了該種FTIR測試的樣片測試臺的通用性。