[實用新型]基于氣體質量流量控制技術的高壓膜透過設備

有效

• 申請號: 202020379748.8
• 申請日: 2020-03-23
• 公開（公告）號: CN211913275U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 馬弢;牛曉;張福林;楊健
• 申請（專利權）人: 北京曉韜科技有限公司
• 主分類號: B01D53/22
• 分類號: B01D53/22;B01D65/10;G01N33/00
• 代理公司: 北京細軟智谷知識產權代理有限責任公司 11471
• 代理人: 岳鳳羽

1.一種基于氣體質量流量控制技術的高壓膜透過設備，其特征在于，包括：

依次連接的氣體流量控制裝置、膜透實驗裝置和氣體分析裝置；其中，

所述氣體流量控制裝置，用于輸出測試氣體，并傳輸至所述膜透實驗裝置內，所述測試氣體用于膜透實驗；

所述膜透實驗裝置，用于通過所述測試氣體進行膜透實驗；

所述氣體分析裝置，用于分析膜透實驗后的氣體，以得到實驗結果。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述氣體流量控制裝置包括用于輸出工藝氣體的工藝氣體輸出單元和用于輸出背景氣體的背景氣體輸出單元；

所述工藝氣體輸出單元和背景氣體輸出單元上均設置有氣體質量流量控制器和截止閥；

所述氣體質量流量控制器和所述截止閥用于對輸出的工藝氣體和背景氣體的流量進行控制。

3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述膜透實驗裝置包括膜池、膜池開關結構、膜池密封結構、加熱單元；

所述膜池包括上蓋、下蓋以及輸氣管道，所述輸氣管道包括第一輸氣管道和第二輸氣管道，所述上蓋通過所述第一輸氣管道輸入工藝氣體，所述下蓋通過所述第二輸氣管道輸入背景氣體；

所述膜池開關結構用于開啟或關閉所述膜池，所述加熱單元設置在所述膜池下蓋底部，用于對所述膜池下蓋進行加熱。

4.根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述輸氣管道為多圈盤管氣路結構。

5.根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述膜池密封結構的材質為氟橡膠、丁晴橡膠、全氟橡膠中的任意一種。

6.根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述膜池開關結構包括電機和絲杠，所述絲杠的一端與所述膜池上蓋連接，并帶動所述上蓋進行上下運動，以開啟或關閉所述膜池。

7.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述氣體流量控制裝置還包括壓力傳感器和單向閥，所述壓力傳感器用于檢測所述氣體流量控制裝置內的氣壓；所述單向閥設置在所述測試氣體的輸入管路上。

8.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括廢棄處理裝置，用于對實驗后的氣體進行處理。

9.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括背壓閥，所述背壓閥設置在膜池上蓋的出口處。

10.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括：人機交互裝置，用于對所述氣體流量控制裝置、膜透實驗裝置和氣體分析裝置的參數進行設置。