[實用新型]基于波長移相干涉的光熱表面變形檢測標定裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020377220.7 | 申請日： | 2020-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN211576103U | 公開（公告）日： | 2020-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳堅;吳周令;李文彩;黃明 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥知常光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/16 | 分類號： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韓燕 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 波長 相干 光熱 表面 變形 檢測 標定 裝置 | ||
1.基于波長移相干涉的光熱表面變形檢測標定裝置，其特征在于：包括有分別朝向被測樣品表面的泵浦光源、探測光源、光電探測器和波長可調(diào)諧光源，所述的泵浦光源和被測樣品之間設(shè)置有泵浦光聚焦裝置，所述的探測光源和被測樣品之間設(shè)置有第一探測光聚焦裝置，所述的光電探測器和被測樣品之間設(shè)置有第二探測光聚焦裝置，所述的波長可調(diào)諧光源和被測樣品之間順次設(shè)置有可調(diào)諧光源分束裝置、可調(diào)諧光源聚焦裝置、光束準直裝置和參考鏡，干涉光聚焦裝置朝向可調(diào)諧光源分束裝置，從參考鏡表面和被測樣品表面反射回去的光發(fā)生干涉，干涉光依次通過光束準直裝置、可調(diào)諧光源聚焦裝置、可調(diào)諧光源分束裝置、干涉光聚焦裝置后進入干涉光強探測裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于波長移相干涉的光熱表面變形檢測標定裝置，其特征在于：所述的泵浦光源和泵浦光聚焦裝置之間設(shè)置有泵浦光束調(diào)制裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于波長移相干涉的光熱表面變形檢測標定裝置，其特征在于：所述的第二探測光聚焦裝置和光電探測器之間順次設(shè)置有探測光分束裝置、探測光空間濾光裝置和濾光裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于波長移相干涉的光熱表面變形檢測標定裝置，其特征在于：所述的第二探測光聚焦裝置和光電探測器之間的光路設(shè)置有探測光功率監(jiān)測裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于波長移相干涉的光熱表面變形檢測標定裝置，其特征在于：所述的被測樣品表面反射的泵浦光由泵浦光收集裝置收集。
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