[實(shí)用新型]一種避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶及鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020372391.0
• 申請(qǐng)日: 2020-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211689225U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戰(zhàn)永剛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市三束鍍膜技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專(zhuān)利代理有限公司 44384
• 代理人: 彭濤;劉曰瑩

1.一種避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，所述圓柱靶包括靶材和靶芯，其特征在于，所述靶芯的外部設(shè)有防水密封套管，所述防水密封套管能夠?qū)⑺霭行狙貜较虬。霭行镜捻敳亢?或底部設(shè)有密封套環(huán)，所述密封套環(huán)能夠?qū)⑺霭行镜捻敳亢?或底部沿橫向包裹住，所述靶芯的進(jìn)水口和/或出水口處設(shè)有密封水管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述防水密封套管、密封套環(huán)及密封水管均通過(guò)密封連接的方式與所述靶芯進(jìn)行連接固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述密封連接的方式包括焊接和/或密封膠密封。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述防水密封套管、密封套環(huán)及密封水管均為金屬非導(dǎo)磁性材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述防水密封套管的形狀與所述靶芯的形狀一致，所述密封套環(huán)的形狀與所述靶材的形狀一致。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述防水密封套管的形狀為圓形，所述密封套環(huán)的形狀為圓環(huán)形。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述防水密封套管的直徑比所述靶芯的直徑大4-6mm，所述防水密封套管的厚度為1-2mm；

所述密封套環(huán)的直徑比所述靶芯大1-2mm，所述密封套環(huán)的厚度為1-2mm；

所述密封水管的直徑為1-4mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述靶芯包括：靶芯下座、靶芯上座、進(jìn)水管、磁靴及磁鐵組，所述靶芯上座與所述靶芯下座相對(duì)設(shè)置，所述進(jìn)水管、磁靴及磁鐵組均設(shè)于所述靶芯上座與所述靶芯下座之間，所述進(jìn)水管固定在所述磁靴的上方，所述磁鐵組固定在所述磁靴的下方四周，所述進(jìn)水管靠近所述靶芯上座這一端設(shè)有進(jìn)水口，所述進(jìn)水管靠近所述靶芯下座這一端的側(cè)壁上設(shè)有出水口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的避免靶芯接觸冷卻水的圓柱靶，其特征在于，所述防水密封套管將所述進(jìn)水管、磁靴及磁鐵組沿徑向包裹住，所述出水口穿過(guò)所述防水密封套管設(shè)置，所述密封水管設(shè)于所述出水口處，所述密封套環(huán)的數(shù)量為兩個(gè)，兩所述密封套環(huán)分別設(shè)于所述靶芯下座和所述靶芯上座的外側(cè)。

10.一種鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的圓柱靶。