[實用新型]一種用于測試探針卡的固定裝置及關鍵零部件

有效

• 申請號: 202020368449.4
• 申請日: 2020-03-23
• 公開（公告）號: CN212031543U
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 趙梁玉;于海超;王艾琳
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于測試探針卡的固定裝置，包括安裝板、安裝孔、固定架、導向槽、上卡板、導向塊、氣缸、橡膠墊、下卡板、活動架、第一滑塊、底板、第一滑槽、連接桿、調節螺母、螺紋桿、第二滑塊、第二滑槽、活動腔、第一彈簧、導向桿和第二彈簧。通過氣缸工作來驅動上卡板順著導向槽向底端運動，從而將探針卡的端角卡合在上卡板與下卡板之間，同時在第二滑塊的作用下可將導向桿表面上的第一彈簧進行壓縮，便于通過第一彈簧的反作用力來對上卡板進行復位；通過人工滑動活動架可調節固定架與活動架之間的距離，在連接桿與螺紋桿之間發生滑動時，螺紋桿會對第二彈簧進行壓縮，此時再擰緊調節螺母，從而可對螺紋桿進行限位。

技術領域

本實用新型涉及一種探針卡的固定裝置，具體是一種用于測試探針卡的固定裝置，屬于探針卡應用技術領域。

背景技術

探針卡是一種測試接口，主要對裸芯進行測試，通過連接測試機和芯片，通過傳輸信號對芯片參數進行測試；將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測的目的，探針卡應用在IC尚未封裝前，針對裸晶系以探針做功能測試，篩選出不良品、再進行之后的封裝工程，因此，探針卡是IC制造中對制造成本影響相當大的重要制程之一。

在現有技術中，探針卡在制造完成后需要對其進行測試，現有的探針卡測試裝置在固定時一般較為麻煩，操作步驟繁多，會降低工作效率，且在固定探針卡時通常會出現尺寸不匹配的現象，通用性不足，降低了適用范圍。因此，針對上述問題提出一種用于測試探針卡的固定裝置、夾緊結構和調節結構。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種用于測試探針卡的固定裝置、夾緊結構和調節結構。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的，一種用于測試探針卡的固定裝置，包括從上到下依次安裝的夾緊結構、固定架、活動架、調節結構、底板和安裝板；

所述夾緊結構包括導向槽、上卡板、氣缸和第一彈簧，所述上卡板的兩側側面均固接有導向塊，所述導向塊卡合在所述導向槽內部，所述上卡板的一端固接有第二滑塊，所述固定架與所述活動架的側面開有第二滑槽，且所述第二滑塊卡合在所述第二滑槽內部；所述氣缸的輸出桿末端與所述第二滑塊的頂端固接，所述第二滑塊的底端固接有導向桿，所述導向桿的表面套接有所述第一彈簧，所述第二滑槽的底端開有活動腔，且所述導向桿的底端卡合在所述活動腔內部；

所述調節結構包括連接桿、調節螺母、螺紋桿和第二彈簧，所述連接桿的一端與所述固定架的一側側面固接，所述螺紋桿的一端套接于所述連接桿的內部，所述連接桿的內部設有所述第二彈簧，且所述第二彈簧套接于所述螺紋桿表面；所述螺紋桿的外端端面與所述活動架的一側側面固接，且所述螺紋桿的表面螺有所述調節螺母。

優選的，所述固定架與所述活動架均為U字型結構，且所述固定架與所述活動架的兩側側面均開有所述導向槽。

優選的，所述固定架固接在所述底板頂端，所述底板的上表面開有第一滑槽，所述活動架的底端固接有第一滑塊，且所述第一滑塊與所述第一滑槽卡合連接。

優選的，所述底板的兩端端面均固接有所述安裝板，且所述安裝板的上表面開有安裝孔。

優選的，所述上卡板與所述固定架、所述活動架均滑動連接，且所述上卡板的底端與所述下卡板的頂端均固接有橡膠墊。

優選的，所述連接桿的數目為兩個，且兩個所述連接桿對稱分布在所述固定架與所述活動架之間。