[實(shí)用新型]半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020356070.1
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN211970610U
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 游兆勝;簡呈儒;劉于漩;謝政達(dá);卓侃熠
• 申請（專利權(quán)）人: 迅得機(jī)械（東莞）有限公司
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B65G1/137
• 代理公司: 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44215
• 代理人: 田小偉

1.半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，包括有：

一矩形架體，周邊層迭設(shè)有多個(gè)開放式盒架，所述開放式盒架具有對應(yīng)坐標(biāo)且可多向存取半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒；

一升降裝置，設(shè)置于所述矩形架體，朝向所述矩形架體內(nèi)部具有一升降臺；

一平面三軸機(jī)器人，設(shè)置于所述矩形架體內(nèi)部，將一基座設(shè)置于所述升降臺，所述基座設(shè)有一上臂與一上臂旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述上臂設(shè)有一前臂與一前臂旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述前臂設(shè)有一腕部牙叉與一腕部牙叉旋轉(zhuǎn)電機(jī)；以及

一操控單元，設(shè)置于所述矩形架體，控制所述升降裝置與所述平面三軸機(jī)器人進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒的入倉或出倉。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒為晶圓容置盒或芯片載盤容置盒。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述腕部牙叉設(shè)置一位置感應(yīng)器，所述位置感應(yīng)器電性連接至所述操控單元，偵測所述腕部牙叉的實(shí)際坐標(biāo)與指令坐標(biāo)是否吻合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述升降裝置為單軸機(jī)器人。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述前臂與上臂等長。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述平面三軸機(jī)器人將所述前臂相對于所述上臂無法旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動的角度設(shè)計(jì)在所述前臂相對于所述上臂逼近完全展開姿態(tài)的微幅區(qū)間內(nèi)，致使所述前臂與所述上臂可在局促空間進(jìn)行姿態(tài)轉(zhuǎn)換，且將所述腕部牙叉相對于所述前臂無法旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動的角度設(shè)計(jì)在所述腕部牙叉相對于所述前臂逼近完全展開姿態(tài)的微幅區(qū)間內(nèi)，致使所述腕部牙叉與所述前臂可在局促空間進(jìn)行姿態(tài)轉(zhuǎn)換。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述前臂相對于所述上臂無法旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動的微幅區(qū)間，為所述前臂相對于所述上臂逆時(shí)針展開175度至逆時(shí)針展開185度的區(qū)間；所述腕部牙叉相對于所述前臂無法旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動的微幅區(qū)間，為所述腕部牙叉相對于所述前臂逆時(shí)針展開175度至逆時(shí)針展開185度的區(qū)間。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品容置盒微型倉儲系統(tǒng)，其特征在于：所述芯片載盤容置盒為長條狀，所述腕部牙叉配合所述芯片載盤容置盒的形狀，相對于所述芯片載盤容置盒的底部四個(gè)端角，設(shè)有四個(gè)L型框角，使所述腕部牙叉由下往上撐起所述芯片載盤容置盒時(shí)，四端穩(wěn)固定位。