[實用新型]一種可公自轉的pvd鍍膜涂層用懸掛治具有效
| 申請號: | 202020355944.1 | 申請日: | 2020-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN211897098U | 公開(公告)日: | 2020-11-10 |
| 發明(設計)人: | 黃海登;范玉山;文兵 | 申請(專利權)人: | 蘇州德耐納米科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/50 | 分類號: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 于浩江 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 自轉 pvd 鍍膜 涂層 懸掛 | ||
本實用新型涉及一種可公自轉的pvd鍍膜涂層用懸掛治具,包含主動力傳動桿、主軸承、圓盤架和撥桿機構;所述主動力傳動桿帶動圓盤架轉動,圓盤架上設置有多個活動機構,多個活動機構環繞主動力傳動桿的軸線排列,活動機構上設置有軸銷和多個從動桿,活動機構通過軸銷轉動設置在圓盤架上,多個從動桿環繞軸銷的軸線排列;所述撥桿機構包含從動套筒,從動套筒上設置有多個撥桿,撥桿用于撥動活動機構的從動桿;本方案通過圓盤架帶動活動機構公轉,并通過撥桿機構帶動活動機構自轉,能夠提高pvd涂層均勻性,提高品質,延長鍍膜工件壽命,提高產量,降低工件消耗成本;該懸掛治具的結構較現有技術拆卸更簡單,制作此治具成本更低。
技術領域
本實用新型涉及一種可公自轉的pvd鍍膜涂層用懸掛治具,屬于真空鍍膜夾治具技術領域。
背景技術
隨著我國進入制造業強國,一些高性能的材料被大量采用,提高優越的性能的同時,加工難度與成本也隨之劇增,怎么應用相對較低質材料而具備高材料性能,具有改善工模具、刀具表面硬度,耐磨性,耐高溫等多種pvd(物理氣相沉積)鍍膜涂層也應運而生。
pvd(物理氣相沉積)硬質涂層品質的性能好壞與機器設備、靶材間距、氣體流量穩定性、鍍膜工藝、工件掛裝方式等相關,目前市場上機器設備與靶材間距都已固定,鍍膜工藝與氣體流量穩定性已趨于成熟,工件的掛裝方式是一個提高涂層品質與性能一個很好的質量控制點。
目前一些鍍膜工件掛架只有單一的公自轉轉軸,工件之間遮擋較多,且背向靶源一側的鍍膜效果較差甚至無法實現鍍膜,導致鍍膜均勻性較差,影響涂層品質與性能,鍍膜工件使用壽命不能實現較大的提升。
因此為了滿足市場對高品質,多面鍍膜工件的需求,需要開發一種可公自轉的pvd鍍膜工件懸掛裝置,以期提高pvd涂層均勻性,提高品質,延長鍍膜工件壽命,提高產量,降低工件消耗成本。
目前市場有兩種可旋轉懸掛裝置:
一、專利號:201910191374.9,名稱:一種柔性可自轉涂層用治具,此技術發明,撥片在300-600攝氏度的高溫環境中易軟化,對自轉盤的撥動的效果較低,甚至出現遺漏,達不到撥轉效果,且如果撥片安裝數量少,則工件自轉效率非常低,而若安裝多組撥片,則對空間要求較高,扭矩需求變大,且夾具撥片的安裝費時費力,也不便于后期維護。
二、專利號:201820685234.8,名稱:一種PVD鍍膜工件旋轉懸掛裝置,該裝置為齒輪傳動,在真空且300-600攝氏度的高溫下,極易冷焊咬合,導致傳動失敗甚至中斷,并且結構較為復雜,制作加工成本高。
實用新型內容
本實用新型目的是為了克服現有技術的不足而提供一種拆卸方便,經濟實用的可公自轉的pvd鍍膜涂層用懸掛治具。
為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種可公自轉的pvd鍍膜涂層用懸掛治具,包含主動力傳動桿、主軸承、圓盤架和撥桿機構;所述主動力傳動桿通過主軸承帶動圓盤架轉動,圓盤架上設置有多個活動機構,多個活動機構環繞主動力傳動桿的軸線排列,活動機構上設置有軸銷和多個從動桿,活動機構通過軸銷轉動設置在圓盤架上,多個從動桿環繞軸銷的軸線排列;所述撥桿機構包含從動套筒,從動套筒上設置有多個撥桿,撥桿用于撥動活動機構的從動桿。
優選的,所述圓盤架包含上活動盤和底托活動盤,上活動盤位于底托活動盤的上側,上活動盤與底托活動盤固定連接,上活動盤與主軸承固定連接;所述的活動機構通過軸銷轉動設置在底托活動盤上,上活動盤具有用于避讓活動機構的孔結構,活動機構的頂部通過該孔結構伸出至上活動盤的上側。
優選的,所述從動套筒上設置有副軸承,副軸承通過卡環與主軸承配合;所述底托活動盤的內圈具有避讓從動套筒的開口結構,從動套筒的上部通過該開口結構伸至底托活動盤的上側,多個撥桿環繞設置在從動套筒的上部的外圓周上。
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